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公开(公告)号：CN114242552A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111024899.7
申请日：2021-09-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32 , H01L21/3065
Abstract: 本公开涉及等离子体处理装置和等离子体处理方法。提供一种基于向边缘环施加的负的直流电压被施加到边缘环的状态下的边缘环的自偏置电压的估计值来调整该直流电压的技术。在公开的等离子体处理装置中，控制部确定在开始从直流电源向边缘环(ER)施加负的直流电压之后电流开始在边缘环与直流电源之间流动的时间点。控制部根据表示边缘环的该时间点的电压的电压测定值，来确定响应于高频电力的供给而产生的边缘环的自偏置电压的估计值。控制部将由直流电源向边缘环施加的负的直流电压的绝对值设定为自偏置电压的估计值的绝对值与设定值之和的值。
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