公开(公告)号：CN111800931B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202010253669.7

申请日：2020-04-01

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 加藤秀生

IPC: H05H1/46 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种阻抗匹配装置、异常诊断方法以及存储介质，阻抗匹配装置对构成阻抗匹配装置的各部件的异常进行自我诊断，具有：可变电容元件，其连接在高频电源与负载之间；第一检测器，其检测用于判断高频电源与负载之间的阻抗匹配的指标值及表示从高频电源输入的高频的状态的第一状态值；第二检测器，其检测表示向负载输出的高频的状态的第二状态值；调整部，其逐步调整可变电容元件的电容值，以使由第一检测器检测出的指标值落在表示阻抗匹配完成的目标范围内；以及诊断部，其基于由调整部调整后的电容值、由第一检测器检测出的第一状态值以及由第二检测器检测出的第二状态值来对可变电容元件、第一检测器或第二检测器的异常进行诊断。

公开(公告)号：CN119585855A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202380055337.X

申请日：2023-07-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 四本松康太 ,  李黎夫 ,  辻本宏 ,  水上大地 ,  阿部淳 ,  加藤秀生

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/205 ,  H05H1/46

Abstract: 一种等离子体处理装置，包括：等离子体处理腔室；基板支承部，配置在等离子体处理腔室内且包括下部电极；上部电极，配置于基板支承部的上方；RF电源，用于向上部电极或下部电极提供RF信号，RF信号在第1重复期间内的第1状态之间具有第1功率电平，在第1重复期间内的第2状态之间具有第1功率电平，在第1重复期间内的第3状态之间具有小于第1功率电平的第2功率电平，在第1重复期间内的第4状态之间具有小于第2功率电平的第3功率电平；和DC电源，构成为对下部电极施加DC信号，DC信号具有在第1重复期间内的第1状态之间具有第1电压电平、在第1重复期间内的第2状态之间具有第2电压电平的电压脉冲的序列，第2电压电平的绝对值大于第1电压电平的绝对值。

公开(公告)号：CN111800931A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN202010253669.7

申请日：2020-04-01

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 加藤秀生

IPC: H05H1/46 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种阻抗匹配装置、异常诊断方法以及存储介质，阻抗匹配装置对构成阻抗匹配装置的各部件的异常进行自我诊断，具有：可变电容元件，其连接在高频电源与负载之间；第一检测器，其检测用于判断高频电源与负载之间的阻抗匹配的指标值及表示从高频电源输入的高频的状态的第一状态值；第二检测器，其检测表示向负载输出的高频的状态的第二状态值；调整部，其逐步调整可变电容元件的电容值，以使由第一检测器检测出的指标值落在表示阻抗匹配完成的目标范围内；以及诊断部，其基于由调整部调整后的电容值、由第一检测器检测出的第一状态值以及由第二检测器检测出的第二状态值来对可变电容元件、第一检测器或第二检测器的异常进行诊断。