公开(公告)号：CN100587108C

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：CN200680000326.8

申请日：2006-04-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 多田国弘 ,  宫下大幸 ,  军司勲男

IPC: C23C16/46 ,  H01L21/285 ,  H01L21/02

CPC classification number: C23C16/46 ,  C23C16/52 ,  H01L21/67248 ,  H01L22/10

Abstract: 本发明提供一种基板处理方法，预先测定被处理基板的红外线吸收率或红外线穿透率，根据该测定值，利用可相互独立控制地设置的第一区域和上述第二区域的温度调节单元，至少对被处理基板中央部的第一区域和其外侧的第二区域独立地调节温度，并对被处理基板进行处理。

公开(公告)号：CN1969059A

公开(公告)日：2007-05-23

申请号：CN200680000326.8

申请日：2006-04-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 多田国弘 ,  宫下大幸 ,  军司勲男

IPC: C23C16/46 ,  H01L21/285 ,  H01L21/02

CPC classification number: C23C16/46 ,  C23C16/52 ,  H01L21/67248 ,  H01L22/10

Abstract: 本发明提供一种基板处理方法，预先测定被处理基板的红外线吸收率或红外线穿透率，根据该测定值，利用可相互独立控制地设置的第一区域和上述第二区域的温度调节单元，至少对被处理基板中央部的第一区域和其外侧的第二区域独立地调节温度，并对被处理基板进行处理。