公开(公告)号：CN101231952B

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN200810008828.6

申请日：2008-01-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 河野有美子 ,  柿本明修 ,  门仓秀公 ,  东慎太郎

IPC: H01L21/316 ,  H01L21/8242 ,  C23C16/40 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C16/409 ,  C23C16/45531 ,  C23C16/45553

Abstract: 本发明提供一种在处理容器内配置基板，对基板加热，将气态的Ti原料、气态的Sr原料和气态的氧化剂导入处理容器内，从而在基板上形成SrTiO3膜的SrTiO3膜的成膜方法。使用Sr(C5(CH3)5)2作为Sr原料。该方法依次进行如下工序：将气态的Ti原料导入处理容器内，使其吸附在基板上的工序；将气态的氧化剂导入处理容器内，分解被吸附的Ti原料，形成含Ti氧化膜的工序；将气态的Sr原料导入处理容器内，使其吸附在上述含Ti氧化膜上的工序；和将气态的氧化剂导入处理容器内，分解被吸附的Sr原料，形成含Sr氧化膜的工序，将这些工序作为1个循环，重复进行多个循环。

公开(公告)号：CN101231952A

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：CN200810008828.6

申请日：2008-01-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 河野有美子 ,  柿本明修 ,  门仓秀公 ,  东慎太郎

IPC: H01L21/316 ,  H01L21/8242 ,  C23C16/40 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C16/409 ,  C23C16/45531 ,  C23C16/45553

Abstract: 本发明提供一种在处理容器内配置基板，对基板加热，将气态的Ti原料、气态的Sr原料和气态的氧化剂导入处理容器内，从而在基板上形成SrTiO3膜的SrTiO3膜的成膜方法。使用Sr(C5(CH3)5)2作为Sr原料。该方法依次进行如下工序：将气态的Ti原料导入处理容器内，使其吸附在基板上的工序；将气态的氧化剂导入处理容器内，分解被吸附的Ti原料，形成含Ti氧化膜的工序；将气态的Sr原料导入处理容器内，使其吸附在上述含Ti氧化膜上的工序；和将气态的氧化剂导入处理容器内，分解被吸附的Sr原料，形成含Sr氧化膜的工序，将这些工序作为1个循环，重复进行多个循环。