公开(公告)号：CN116745699B

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202180083350.7

申请日：2021-11-19

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 高木大地 ,  中村刚 ,  板垣友祐

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  G03F7/039

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，含有基材成分(A)、产酸剂成分(B)、可光降解的碱(D0)，可光降解的碱(D0)包含以通式(d0‑1)表示的化合物(D01)及以通式(d0‑2)表示的化合物(D02)。式中，Rd01为可具有取代基的链状或环状的脂肪族烃基。n01为1～10的整数。Rd02为具有氧原子(＝O)的环状的脂肪族烃基。m为1以上的整数，Mm+为m价的有机阳离子。#imgabs0#

公开(公告)号：CN116745699A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202180083350.7

申请日：2021-11-19

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 高木大地 ,  中村刚 ,  板垣友祐

IPC: G03F7/039

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，含有基材成分(A)、产酸剂成分(B)、可光降解的碱(D0)，可光降解的碱(D0)包含以通式(d0‑1)表示的化合物(D01)及以通式(d0‑2)表示的化合物(D02)。式中，Rd01为可具有取代基的链状或环状的脂肪族烃基。n01为1～10的整数。Rd02为具有氧原子(＝O)的环状的脂肪族烃基。m为1以上的整数，Mm+为m价的有机阳离子。#imgabs0#