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公开(公告)号：CN108779331A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201780015445.9
申请日：2017-01-24
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供能够抑制薄膜形成部中的表面粗糙、维持薄膜形成部的绝缘可靠性的树脂组合物、其固化浮凸图案、及使用其的半导体电子部件或半导体器件的制造方法。用于实现上述目的的本发明的构成如下所述。即，树脂组合物，其含有(a)选自碱溶性聚酰亚胺、碱溶性聚苯并噁唑、碱溶性聚酰胺酰亚胺、它们的前体及它们的共聚物中的至少一种树脂、以及(b)碱溶性酚醛树脂，上述(b)的树脂的碱溶解速度(Rb)与上述(a)的树脂的碱溶解速度(Ra)之比(Rb/Ra)满足0.5≤Rb/Ra≤2.0的关系。还为该树脂组合物的固化浮凸图案、及使用其的半导体电子部件或半导体器件的制造方法。
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公开(公告)号：CN108779331B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201780015445.9
申请日：2017-01-24
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供能够抑制薄膜形成部中的表面粗糙、维持薄膜形成部的绝缘可靠性的树脂组合物、其固化浮凸图案、及使用其的半导体电子部件或半导体器件的制造方法。用于实现上述目的的本发明的构成如下所述。即，树脂组合物，其含有(a)选自碱溶性聚酰亚胺、碱溶性聚苯并噁唑、碱溶性聚酰胺酰亚胺、它们的前体及它们的共聚物中的至少一种树脂、以及(b)碱溶性酚醛树脂，上述(b)的树脂的碱溶解速度(Rb)与上述(a)的树脂的碱溶解速度(Ra)之比(Rb/Ra)满足0.5≤Rb/Ra≤2.0的关系。还为该树脂组合物的固化浮凸图案、及使用其的半导体电子部件或半导体器件的制造方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109313387B
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN201780036074.2
申请日：2017-06-07
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物，其即使利用低温下的加热处理也可得到与金属材料(特别是铜)的密合性优异的固化膜，并且具有高的涂布性。感光性树脂组合物，其特征在于，含有(A)具有来自脂肪族二胺的有机基团的碱溶性树脂、(B)感光剂、(C)在1013hPa、25℃的条件下为液体且沸点为210℃以上的化合物，其中，相对于(A)具有来自脂肪族二胺的有机基团的碱溶性树脂100质量份而言，包含0.1～15质量份的上述(C)在1013hPa、25℃的条件下为液体且沸点为210℃以上的化合物。
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公开(公告)号：CN107924125B
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN201680049884.7
申请日：2016-08-30
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供正型感光性树脂组合物、由该组合物形成的树脂图案、及使用其的半导体的制造方法，所述正型感光性树脂组合物对汞灯的i线为高敏感度，对强酸性水溶液、强碱性水溶液的耐化学药品性优异，尤其是能够得到即使在O2灰化后的无电解电镀工序中与铝焊盘的密合可靠性也优异的固化树脂图案。正型感光性树脂组合物，其含有(a)碱溶性树脂、(b)醌二叠氮化合物，上述(a)碱溶性树脂包含：(a1)聚酰亚胺前体，所述聚酰亚胺前体在全部四羧酸残基中具有5～50摩尔％的通式(1)表示的四羧酸残基，在全部二胺残基中具有10～80摩尔％的通式(2)表示的二胺残基，并且在全部二胺残基中具有10～90摩尔％的式(3)表示的二胺残基；及/或(a2)与上述(a1)对应的聚酰亚胺。(通式(1)中，A表示不含杂原子的4价单环式或二环式芳香族烃基，且可以使用两种以上。)(通式(2)中，B表示选自O、S、SO2、CH2、CH(CH3)、C(CH3)2、C(CF3)2中的基团，且可以使用它们中的两种以上。)
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公开(公告)号：CN119768471A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202380061426.5
申请日：2023-09-19
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 树脂组合物，其含有(a)选自由聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、它们中的任一前体及它们的共聚物组成的组中的至少一种树脂、以及(b)光产酸剂，前述(a)成分至少含有式(1)的二胺残基及式(2)的二胺残基，并且含有式(3)的四羧酸残基和/或式(4)的二羧酸残基，相对于前述(a)成分的全部二胺残基100摩尔％而言，具有15～80摩尔％的式(1)的二胺残基，具有20～85摩尔％的式(2)的二胺残基，相对于前述(a)成分的全部二胺残基100摩尔％而言，式(1)的二胺残基与式(2)的二胺残基的合计为50～100摩尔％。(式(1)中，a及b各自独立地表示1或2的整数。*表示键合部。)(式(2)中，X表示‑C(CH3)2‑、‑C(CF3)2‑、‑O‑、‑S‑、‑SO2‑、或单键。*表示键合部。)(式(3)中，Y1表示‑C(CH3)2‑、‑C(CF3)2‑、‑O‑、‑S‑、‑SO2‑、或单键。*表示键合部。)(式(4)中，Y2表示选自‑C(CH3)2‑、‑C(CF3)2‑、‑O‑、‑S‑、及‑SO2‑的基团、或单键。*表示键合部。)提供一种树脂组合物，其图案加工性优异，能够得到低吸水的固化物，适合用于有机EL显示装置的平坦化层和/或堤层。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN109313387A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780036074.2
申请日：2017-06-07
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物，其即使利用低温下的加热处理也可得到与金属材料(特别是铜)的密合性优异的固化膜，并且具有高的涂布性。感光性树脂组合物，其特征在于，含有(A)具有来自脂肪族二胺的有机基团的碱溶性树脂、(B)感光剂、(C)在1013hPa、25℃的条件下为液体且沸点为210℃以上的化合物，其中，相对于(A)具有来自脂肪族二胺的有机基团的碱溶性树脂100质量份而言，包含0.1～15质量份的上述(C)在1013hPa、25℃的条件下为液体且沸点为210℃以上的化合物。
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公开(公告)号：CN107924125A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680049884.7
申请日：2016-08-30
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供正型感光性树脂组合物、由该组合物形成的树脂图案、及使用其的半导体的制造方法，所述正型感光性树脂组合物对汞灯的i线为高敏感度，对强酸性水溶液、强碱性水溶液的耐化学药品性优异，尤其是能够得到即使在O2灰化后的无电解电镀工序中与铝焊盘的密合可靠性也优异的固化树脂图案。正型感光性树脂组合物，其含有(a)碱溶性树脂、(b)醌二叠氮化合物，上述(a)碱溶性树脂包含：(a1)聚酰亚胺前体，所述聚酰亚胺前体在全部四羧酸残基中具有5～50摩尔％的通式(1)表示的四羧酸残基，在全部二胺残基中具有10～80摩尔％的通式(2)表示的二胺残基，并且在全部二胺残基中具有10～90摩尔％的式(3)表示的二胺残基；及/或(a2)与上述(a1)对应的聚酰亚胺。(通式(1)中，A表示不含杂原子的4价单环式或二环式芳香族烃基，且可以使用两种以上。)(通式(2)中，B表示选自O、S、SO2、CH2、CH(CH3)、C(CH3)2、C(CF3)2中的基团，且可以使用它们中的两种以上。)
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