公开(公告)号：CN101611350B

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN200880004802.2

申请日：2008-02-05

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤田阳二 ,  有本真治 ,  池鲤生

IPC: G03F7/023 ,  C08F290/06 ,  C08F299/02 ,  C08G73/10 ,  C08G73/22 ,  G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供使用酚醛清漆树脂、具有良好的机械特性、保存稳定性优异的正型感光性树脂组合物。该正型感光性树脂组合物含有(a)酚醛清漆树脂、(b)以通式(1)和/或通式(2)所示结构为主要成分的聚合物、(c)重氮醌化合物、(d)含烷氧基甲基的化合物以及(e)溶剂。通式(1)～(2)中，R1和R2分别可以相同或不同，表示碳原子数为2以上的2价～8价有机基团。R3和R4分别可以相同或不同，表示氢或碳原子数为1～20的1价有机基团。通式(1)的-NH-R5和通式(2)的-CO-R6表示聚合物的末端基团，R5和R6表示具有不饱和烃基的碳原子数为2～30的1价有机基团。n表示10～100,000的范围，l和m表示0～2的整数，p和q表示0～4的整数。其中p+q＞0。

公开(公告)号：CN101611350A

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：CN200880004802.2

申请日：2008-02-05

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤田阳二 ,  有本真治 ,  池鲤生

IPC: G03F7/023 ,  C08F290/06 ,  C08F299/02 ,  C08G73/10 ,  C08G73/22 ,  G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供使用酚醛清漆树脂、具有良好的机械特性、保存稳定性优异的正型感光性树脂组合物。该正型感光性树脂组合物含有(a)酚醛清漆树脂、(b)以通式(1)和/或通式(2)所示结构为主要成分的聚合物、(c)重氮醌化合物、(d)含烷氧基甲基的化合物以及(e)溶剂。通式(1)～(2)中，R1和R2分别可以相同或不同，表示碳原子数为2以上的2价～8价有机基团。R3和R4分别可以相同或不同，表示氢或碳原子数为1～20的1价有机基团。通式(1)的－NH－R5和通式(2)的－CO－R6表示聚合物的末端基团，R5和R6表示具有不饱和烃基的碳原子数为2～30的1价有机基团。n表示10～100,000的范围，l和m表示0～2的整数，p和q表示0～4的整数。其中p+q＞0。