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公开(公告)号：CN106007391A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610172096.9
申请日：2016-03-24
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: C03C17/00
CPC classification number: C03C17/002 , C03C2218/112
Abstract: 提供一种缝喷嘴、涂布方法以及涂布装置，该缝喷嘴能够减小存在于涂布膜的宽度方向两端部的膜厚不良部的长度而扩大膜厚均匀的产品区域。本发明的缝喷嘴(10)具有：供给口(16)，其供给涂布液；集流腔(13)，其使从供给口供给的涂布液在长度方向上分散；以及流路部(14)，其与集流腔连接而将涂布液引导至喷出口(17)，该缝喷嘴还具有：喷出口面(20)，其与喷出口大致同一平面；以及一对上升面(21L、21R)，它们分别与喷出口面的长度方向两端的缘部相连并向集流腔侧延伸，当流路部的与集流腔的连接位置处的长度方向长度为We、喷出口的长度方向长度为Wd时，We＞Wd。
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公开(公告)号：CN117772558A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311255495.8
申请日：2023-09-26
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，能够以容易的结构应对多品种的基板。涂布装置具备：工作台，其能够载置宽度尺寸不同的多品种的基板；以及涂布单元，其通过一边相对于载置在工作台的表面的基板相对地移动一边喷出涂布液，而在基板上形成涂布膜，涂布装置具有升降部件，在向工作台进行基板的搬入、搬出时，升降部件将基板保持在距工作台规定高度，在升降部件保持基板时与基板的背面抵接的抵接部具有沿基板的宽度方向延伸的形状，以便能够维持宽度尺寸不同的基板的保持姿势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106493041A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610718005.7
申请日：2016-08-24
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 铃木晓雄
Abstract: 提供涂布装置，能够通过提高涂布膜形成结束时的止液的响应性而形成均匀厚度的涂布膜。该涂布装置具有：载台部，其对基板进行载置；以及涂布液提供部，其向涂布喷嘴提供涂布液，一边将从涂布液提供部提供的涂布液从涂布喷嘴喷出，一边使涂布喷嘴与载台部相对地移动，从而在基板上形成涂布膜，该涂布装置还具有涂布液吸引部，其对涂布喷嘴内的涂布液进行吸引，涂布液吸引部具有吸引源以及吸引用容器，该吸引用容器配置于将该吸引源与涂布喷嘴连结的配管路径中，其直径比配管的直径大，涂布液吸引部的吸引动作是在来自涂布喷嘴的涂布液的液面存在于吸引用容器的状态下通过吸引源使吸引用容器内减压而进行的。
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公开(公告)号：CN108698073B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201780012441.5
申请日：2017-02-01
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明课题在于使涂布在被涂布部件上的涂膜的厚度成为期望的厚度。涂布装置(5)的涂布器(10)具有蓄积涂布液的蓄积部(13)、喷出涂布液的喷出口(11)以及将蓄积部(13)与喷出口(11)相连的缝状流路(12)，该涂布器(10)从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液。涂布装置(5)具有：移动单元(20)，其使涂布器(10)相对于基板(7)沿与被涂布面(8)平行的方向移动；泵(30)，其对涂布器(10)提供涂布液；和控制装置(50)。控制装置(50)构成为：在进行一边进行涂布器(10)的移动一边从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液的涂布动作时，进行用于使涂布器(10)内的涂布液成为负压并从泵(30)对涂布器(10)提供涂布液的控制。
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公开(公告)号：CN108698073A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780012441.5
申请日：2017-02-01
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明课题在于使涂布在被涂布部件上的涂膜的厚度成为期望的厚度。涂布装置(5)的涂布器(10)具有蓄积涂布液的蓄积部(13)、喷出涂布液的喷出口(11)以及将蓄积部(13)与喷出口(11)相连的缝状流路(12)，该涂布器(10)从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液。涂布装置(5)具有：移动单元(20)，其使涂布器(10)相对于基板(7)沿与被涂布面(8)平行的方向移动；泵(30)，其对涂布器(10)提供涂布液；和控制装置(50)。控制装置(50)构成为：在进行一边进行涂布器(10)的移动一边从喷出口(11)对基板(7)喷出涂布液的涂布动作时，进行用于使涂布器(10)内的涂布液成为负压并从泵(30)对涂布器(10)提供涂布液的控制。
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公开(公告)号：CN119136919A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202380037716.6
申请日：2023-04-11
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 提供一种能够缩短涂布动作的节拍时间的涂布装置。具体地说，涂布装置具有：工作台，其载置基板；以及涂布单元，其一边相对于载置在所述工作台的表面上的所述基板在一个方向上相对移动一边喷出涂布液，由此在所述基板上形成涂布膜，所述涂布单元具有：涂布器，其喷出涂布液；以及支承单元，其支承该涂布器，所述支承单元具有：支柱部，其配置在与涂布方向垂直的宽度方向一侧；以及梁部，其从所述支柱部以横跨所述工作台的方式延伸，所述涂布器通过安装于所述梁部而以悬臂梁构造支承于所述支承单元。
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公开(公告)号：CN105562289A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201510726031.X
申请日：2015-10-30
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 铃木晓雄
Abstract: 本发明提供一种能够容易地去除配管内的滞留空气的涂布装置以及滞留空气去除方法。本发明的涂布装置构成为：通过使多个配管连结而将蓄留涂布液的涂布液容器与喷出涂布液的涂布单元连接，并通过涂布单元喷出涂布液容器中的涂布液，其中，所述配管通过用于将配管彼此连结的配管连结部而被连结，在所述涂布单元与配置于最接近所述涂布单元的位置上的所述配管连结部之间具有逆流送液装置，该逆流送液装置通过所述配管向所述涂布液容器侧进行送液。
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