公开(公告)号：CN102189064A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110042101.1

申请日：2011-02-22

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 林敏 ,  内泻外茂夫 ,  上林宏和 ,  伊藤祯彦

IPC: B05C11/10 ,  B05C11/11 ,  B05C11/00 ,  B05C5/02

Abstract: 本发明提供涂布液供给装置、涂布液供给方法以及缓冲箱，其中能够避免涂布液被白白废弃，且能够抑制气泡混入到所供给的涂布液内。所述涂布液供给装置，包括存储涂布液的涂布液箱和暂时存储涂布液的缓冲箱，其中，通过加压涂布液箱使涂布液箱的涂布液供给到缓冲箱，且从缓冲箱输送涂布液，该装置还包括对涂布液箱内的涂布液残余量进行检测的残余量检测装置，通过该残余量检测装置，当检测出涂布液箱内的涂布液残余量很少时，进行停止从缓冲箱输送涂布液的液体输送停止动作，然后在停止从缓冲箱输送涂布液的动作状态下，进行将涂布液箱内的残留涂布液输送到缓冲箱的残余液体输送动作，然后进行更换涂布液箱的箱体更换动作。

公开(公告)号：CN102189064B

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201110042101.1

申请日：2011-02-22

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 林敏 ,  内泻外茂夫 ,  上林宏和 ,  伊藤祯彦

IPC: B05C11/10 ,  B05C11/11 ,  B05C11/00 ,  B05C5/02

Abstract: 本发明提供涂布液供给装置、涂布液供给方法以及缓冲箱，其中能够避免涂布液被白白废弃，且能够抑制气泡混入到所供给的涂布液内。所述涂布液供给装置，包括存储涂布液的涂布液箱和暂时存储涂布液的缓冲箱，其中，通过加压涂布液箱使涂布液箱的涂布液供给到缓冲箱，且从缓冲箱输送涂布液，该装置还包括对涂布液箱内的涂布液残余量进行检测的残余量检测装置，通过该残余量检测装置，当检测出涂布液箱内的涂布液残余量很少时，进行停止从缓冲箱输送涂布液的液体输送停止动作，然后在停止从缓冲箱输送涂布液的动作状态下，进行将涂布液箱内的残留涂布液输送到缓冲箱的残余液体输送动作，然后进行更换涂布液箱的箱体更换动作。