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公开(公告)号:CN102674702B
公开(公告)日:2014-05-28
申请号:CN201210034636.9
申请日:2012-02-16
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明涉及清扫部件和涂布器的清扫方法、清扫装置以及显示器用部件的制造方法,该清扫部件在清扫时通过提高从涂布器去除的涂布液沿着清扫部件流出的速度,使该涂布液不再附着在涂布器上,且由于涂布液或清洗用溶剂等不残留而不会导致涂布膜厚度异常或涂布膜面的缺陷,该清扫部件具有相对而置的第一面和第二面、且一边与在涂布器的一个方向上延伸的排出口的排出口面和该排出口面的两个邻接面接触一边在该一个方向上滑动,由此对该排出口面和该两个邻接面进行清扫,并且包括:清扫部,设置在第一面侧上,并与排出口面和两个邻接面同时接触;多个流出路径面,以清扫部为起点,一直延伸到第二面侧;其中,在流出路径面上,在第二面侧设置有切槽。
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公开(公告)号:CN102674702A
公开(公告)日:2012-09-19
申请号:CN201210034636.9
申请日:2012-02-16
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明涉及清扫部件和涂布器的清扫方法、清扫装置以及显示器用部件的制造方法,该清扫部件在清扫时通过提高从涂布器去除的涂布液沿着清扫部件流出的速度,使该涂布液不再附着在涂布器上,且由于涂布液或清洗用溶剂等不残留而不会导致涂布膜厚度异常或涂布膜面的缺陷,该清扫部件具有相对而置的第一面和第二面、且一边与在涂布器的一个方向上延伸的排出口的排出口面和该排出口面的两个邻接面接触一边在该一个方向上滑动,由此对该排出口面和该两个邻接面进行清扫,并且包括:清扫部,设置在第一面侧上,并与排出口面和两个邻接面同时接触;多个流出路径面,以清扫部为起点,一直延伸到第二面侧;其中,在流出路径面上,在第二面侧设置有切槽。
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