公开(公告)号：CN111587395A

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN201880085224.3

申请日：2018-12-26

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 村田浩之 ,  大久保宪治 ,  石川直道

IPC: G02B27/48 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66 ,  H01S3/10 ,  G03B21/14

Abstract: 本发明的目的在于提供激光光源装置，其使用高输出激光并且寿命长且使散斑噪声降低。本发明是射出激光的激光光源装置(1)，其中，该激光光源装置(1)具有：光束分支部(3)，其将从激光光源部(2)射出的光束(L0)分支成第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)；以及光束合成部(5)，其对第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)进行合成，与第1分支光束(L1)的光路长度相比，第2分支光束(L2)的光路长度设定得较长，在第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)的光路中具有扩散板(41、42、43)。

公开(公告)号：CN1721841B

公开(公告)日：2010-08-04

申请号：CN200510086024.4

申请日：2005-07-18

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 松村淳一 ,  大久保宪治

IPC: G01N21/896 ,  G01B11/00

Abstract: 提供能够避免检查对象的表面特性引起噪声使测量精度恶化的光学测量方法及光学测量装置。将光照射到检查对象(GL)上，接受从检查对象(GL获得的光最终变换成二维光强度信号(S1)，从光强度信号(S1)中将测量表面状态(IB)时必须的信号即关注信号(SB)与测量表面状态时不需要的信号即噪声信号(SN)分离，由此仅抽出关注信号(SB)，将抽出的关注信号(SB)与预定的阈值(T1)进行比较。实际上为比较光强度信号(S1)与追随噪声信号(SN)的阈值，能够避免检查对象的表面特性引起噪声使测量精度恶化。

公开(公告)号：CN104024835A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201280065039.0

申请日：2012-11-09

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 大久保宪治 ,  山本比佐史

IPC: G01N21/956 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/956

Abstract: 本发明提供一种自动外观检查装置，其能够不受摄像机的处理能力的制约而缩短检查时间。具体而言，该自动外观检查装置的特征在于，具有：载台部、扫描台部、闪光灯照明部、镜筒部、摄像部、以及检查部，所述检查部根据预先登记的检查条件，判断所摄像的检查对象物的图像是否良好，扫描台部具有测量载台部的当前位置的位置测量单元，镜筒部具有使观察光的一部分透射并且使一部分改变角度而进行反射的光分支单元，镜筒部安装有多个摄像部，使得能够分别对光分支单元所分支的光进行摄像，控制部具有对于每次摄像逐次切换用于摄像的摄像部来进行摄像的功能。

公开(公告)号：CN111587395B

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN201880085224.3

申请日：2018-12-26

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 村田浩之 ,  大久保宪治 ,  石川直道

IPC: G02B27/48 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66 ,  H01S3/10 ,  G03B21/14

Abstract: 本发明的目的在于提供激光光源装置，其使用高输出激光并且寿命长且使散斑噪声降低。本发明是射出激光的激光光源装置(1)，其中，该激光光源装置(1)具有：光束分支部(3)，其将从激光光源部(2)射出的光束(L0)分支成第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)；以及光束合成部(5)，其对第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)进行合成，与第1分支光束(L1)的光路长度相比，第2分支光束(L2)的光路长度设定得较长，在第1分支光束(L1)和第2分支光束(L2)的光路中具有扩散板(41、42、43)。

公开(公告)号：CN104024835B

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201280065039.0

申请日：2012-11-09

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 大久保宪治 ,  山本比佐史

IPC: G01N21/956 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/956

Abstract: 本发明提供一种自动外观检查装置，其能够不受摄像机的处理能力的制约而缩短检查时间。具体而言，该自动外观检查装置的特征在于，具有：载台部、扫描台部、闪光灯照明部、镜筒部、摄像部、以及检查部，所述检查部根据预先登记的检查条件，判断所摄像的检查对象物的图像是否良好，扫描台部具有测量载台部的当前位置的位置测量单元，镜筒部具有使观察光的一部分透射并且使一部分改变角度而进行反射的光分支单元，镜筒部安装有多个摄像部，使得能够分别对光分支单元所分支的光进行摄像，控制部具有对于每次摄像逐次切换用于摄像的摄像部来进行摄像的功能。

公开(公告)号：CN105103533B

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201480018385.2

申请日：2014-02-21

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 大久保宪治 ,  井中千草

IPC: H04N5/225 ,  G01B11/00 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  H04N1/19

CPC classification number: G01N21/8901 ,  G01N21/956

Abstract: 不依赖摄像机的摄像特性、高速地对工件进行摄像。具体而言，在一边使由多台具有线传感器的摄像机构成的摄像单元和对工件进行保持的保持台以规定的移动速度相对地水平移动一边对该工件进行摄像的摄像过程中，根据摄像机的台数将移动速度调整为比由线传感器的分辨率和扫描频率所决定的最佳移动速度快的速度，根据摄像机的台数均等地分割扫描频率，将该扫描频率轮流分配给摄像机，一边重复在各扫描频率的起始点进行摄像机的快门开启、并且将摄像机的曝光时间调整到各扫描频率内的循环，一边对所述工件进行摄像，并根据由摄像机取得的亮度值对工件的图像进行重构。

公开(公告)号：CN105103533A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480018385.2

申请日：2014-02-21

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 大久保宪治 ,  井中千草

IPC: H04N5/225 ,  G01B11/00 ,  G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  H04N1/19

CPC classification number: G01N21/8901 ,  G01N21/956

Abstract: 不依赖摄像机的摄像特性、高速地对工件进行摄像。具体而言，在一边使由多台具有线传感器的摄像机构成的摄像单元和对工件进行保持的保持台以规定的移动速度相对地水平移动一边对该工件进行摄像的摄像过程中，根据摄像机的台数将移动速度调整为比由线传感器的分辨率和扫描频率所决定的最佳移动速度快的速度，根据摄像机的台数均等地分割扫描频率，将该扫描频率轮流分配给摄像机，一边重复在各扫描频率的起始点进行摄像机的快门开启、并且将摄像机的曝光时间调整到各扫描频率内的循环，一边对所述工件进行摄像，并根据由摄像机取得的亮度值对工件的图像进行重构。

公开(公告)号：CN1721841A

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN200510086024.4

申请日：2005-07-18

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 松村淳一 ,  大久保宪治

IPC: G01N21/896 ,  G01B11/00

Abstract: 提供能够避免检查对象的表面特性引起噪声使测量精度恶化的光学测量方法及光学测量装置。将光照射到检查对象(GL)上，接受从检查对象(GL获得的光最终变换成二维光强度信号(S1)，从光强度信号(S1)中将测量表面状态(IB)时必须的信号即关注信号(SB)与测量表面状态时不需要的信号即噪声信号(SN)分离，由此仅抽出关注信号(SB)，将抽出的关注信号(SB)与预定的阈值(T1)进行比较。实际上为比较光强度信号(S1)与追随噪声信号(SN)的阈值，能够避免检查对象的表面特性引起噪声使测量精度恶化。