公开(公告)号：CN103144029A

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201210511482.8

申请日：2012-12-04

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 小布施敦史 ,  寺泽光子

IPC: B24B41/06 ,  H01L21/304 ,  H01L21/67

CPC classification number: B30B15/34 ,  B24B37/345 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6715 ,  Y10T156/10

Abstract: 用于粘附工件的方法和工件粘附装置。该用于粘附工件的方法能够将工件抛光成具有相同的厚度。该用于粘附工件的方法在工件粘附装置中实施，该工件粘附装置包括：加压台；和设置于加压台的上方并且能够彼此独立地靠近和远离加压台地移动的多个加压头。加压台和加压头将工件压到板上并利用粘合剂使工件粘附至板。每个加压头均以相同的压力将对应的一个工件压到板上。

公开(公告)号：CN103144029B

公开(公告)日：2017-07-07

申请号：CN201210511482.8

申请日：2012-12-04

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 小布施敦史 ,  寺泽光子

IPC: B24B41/06 ,  H01L21/304 ,  H01L21/67

CPC classification number: B30B15/34 ,  B24B37/345 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6715 ,  Y10T156/10

Abstract: 用于粘附工件的方法和工件粘附装置。该用于粘附工件的方法能够将工件抛光成具有相同的厚度。该用于粘附工件的方法在工件粘附装置中实施，该工件粘附装置包括：加压台；和设置于加压台的上方并且能够彼此独立地靠近和远离加压台地移动的多个加压头。加压台和加压头将工件压到板上并利用粘合剂使工件粘附至板。每个加压头均以相同的压力将对应的一个工件压到板上。

公开(公告)号：CN102693907A

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN201210080610.8

申请日：2012-03-23

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 酒井孝昭 ,  寺泽光子 ,  大西进

IPC: H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种能够高精度地粘贴工件的工件粘贴方法及工件粘贴装置。工件粘贴装置(10)包括按压工作台(18)和按压头(42)，该按压头(42)以能相对于按压工作台(18)自由地靠近、离开的方式配置在按压工作台(18)的上方，该工件粘贴装置(10)通过利用按压工作台(18)和按压头(42)进行按压而借助蜡将工件(23)粘贴在板(22)上，该工件粘贴装置(10)的特征在于，按压工作台(18)具备加热器(31)和冷却机构(32)，加热按压工作台(18)和按压头(42)而隔着涂敷在板(22)上的蜡按压工件(23)，在使蜡延展后，利用冷却机构(32)将按压工作台(18)和板(22)冷却，从而使蜡固化而将工件(23)粘贴在板(22)上。