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公开(公告)号：CN113795725A
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202080032525.7
申请日：2020-04-09
Applicant: 不二越机械工业株式会社
IPC: G01B11/06 , H01L21/304
Abstract: 具有：单片型波长扫描半导体激光光源(12)，其具有激光源(14)、控制激光源(14)的激光控制单元(16)以及处理器(18)，该处理器(18)构成为利用激光控制单元(16)来控制激光源(14)，以振荡出相对于时间按照设定图谱变化的波长的激光；光学系统(20、22)，其将激光引导并照射到晶片(24)；检测部(26)，其检测反射光的干涉光信号；A/D转换器(28)，其将由检测部(26)检测出的干涉光信号转换成数字信号；以及运算部(30)，其通过分析来自所述A/D转换器(28)的数字信号来计算晶片(24)的厚度，其特征在于，处理器(18)使激光控制单元(16)根据时钟信号进行动作，从激光源(14)振荡出相对于时间按照设定图谱进行波长扫描的激光，A/D转换器(28)与所述时钟信号同步地生成采样时钟或将时钟信号直接用作采样时钟，对干涉光信号进行A/D转换。
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公开(公告)号：CN102011173B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201010277859.9
申请日：2010-09-07
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
CPC classification number: C30B29/20 , C30B11/00 , C30B11/003 , Y10T117/1068
Abstract: 一种蓝宝石单晶生长设备，其能够容易地提高影响生长炉中的温度分布的隔热件的形状精度和定位精度。隔热件被设置在生长炉中并且围绕筒状加热器，以形成热区域。隔热件由多个筒状部构成，其中，多个筒状部沿上下方向堆叠，由定位机构来限定多个筒状部的径向位置。筒状部由碳毡构成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102011173A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN201010277859.9
申请日：2010-09-07
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
CPC classification number: C30B29/20 , C30B11/00 , C30B11/003 , Y10T117/1068
Abstract: 一种蓝宝石单晶生长设备，其能够容易地提高影响生长炉中的温度分布的隔热件的形状精度和定位精度。隔热件被设置在生长炉中并且围绕筒状加热器，以形成热区域。隔热件由多个筒状部构成，其中，多个筒状部沿上下方向堆叠，由定位机构来限定多个筒状部的径向位置。筒状部由碳毡构成。
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公开(公告)号：CN102191535B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201110049244.5
申请日：2011-03-01
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能防止产生由晶体取向错位引起的晶体缺陷的蓝宝石单晶体的制造装置。本发明的蓝宝石单晶体的制造装置(1)将晶种和原料收纳在被支承构件(3)支承的坩埚(20)内，将该坩埚(20)配置在生长炉(10)内的筒状加热器(14)内，利用筒状加热器(14)对该坩埚进行加热而使原料和一部分晶种熔化而结晶化，该蓝宝石单晶体的制造装置包括用于以圆环状冷却形成为杯状的上述坩埚(20)的规定的外周位置的冷却部件。
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公开(公告)号：CN102191535A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110049244.5
申请日：2011-03-01
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能防止产生由晶体取向错位引起的晶体缺陷的蓝宝石单晶体的制造装置。本发明的蓝宝石单晶体的制造装置(1)将晶种和原料收纳在被支承构件(3)支承的坩埚(20)内，将该坩埚(20)配置在生长炉(10)内的筒状加热器(14)内，利用筒状加热器(14)对该坩埚进行加热而使原料和一部分晶种熔化而结晶化，该蓝宝石单晶体的制造装置包括用于以圆环状冷却形成为杯状的上述坩埚(20)的规定的外周位置的冷却部件。
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公开(公告)号：CN101962798B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201010234997.9
申请日：2010-07-21
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
CPC classification number: C30B29/20 , C30B11/002 , Y10T117/1024
Abstract: 本发明涉及用于生产蓝宝石单晶的方法和设备。一种方法，其能够生产蓝宝石单晶而不形成裂纹和不使用昂贵的坩埚。该方法包含下述步骤：将籽晶和原料放置于坩埚中；将坩埚设置于圆筒形加热器中；加热坩埚；和在圆筒形加热器中产生温度梯度以使熔体顺序结晶。所述坩埚由具有特定的线性膨胀系数的材料构成，该材料能够防止由坩埚的线性膨胀系数和蓝宝石单晶沿垂直于其生长轴的方向的线性膨胀系数之间的差导致的相互应力在坩埚和蓝宝石单晶中产生，或该材料能够防止由在蓝宝石单晶中的相互应力导致的坩埚的变形而不产生晶体缺陷。
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公开(公告)号：CN101962798A
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN201010234997.9
申请日：2010-07-21
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
CPC classification number: C30B29/20 , C30B11/002 , Y10T117/1024
Abstract: 本发明涉及用于生产蓝宝石单晶的方法和设备。一种方法，其能够生产蓝宝石单晶而不形成裂纹和不使用昂贵的坩埚。该方法包含下述步骤：将籽晶和原料放置于坩埚中；将坩埚设置于圆筒形加热器中；加热坩埚；和在圆筒形加热器中产生温度梯度以使熔体顺序结晶。所述坩埚由具有特定的线性膨胀系数的材料构成，该材料能够防止由坩埚的线性膨胀系数和蓝宝石单晶沿垂直于其生长轴的方向的线性膨胀系数之间的差导致的相互应力在坩埚和蓝宝石单晶中产生，或该材料能够防止由在蓝宝石单晶中的相互应力导致的坩埚的变形而不产生晶体缺陷。
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