抗辐照栅氧击穿型PROM存储器编程后老化试验装置和方法

    公开(公告)号:CN106782667B

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN201611041190.7

    申请日:2016-11-11

    Abstract: 本发明提供了一种抗辐照栅氧击穿型PROM存储器编程后老化试验方法和装置,方法包括:步骤1,将编程后的抗辐照栅氧击穿型PROM存储器进行第一温度烘焙,持续至少64小时后完成静态老化,所述第一温度为140~150℃;步骤2,调整温度至第二温度,向静态老化后的所述存储器发送激励信号,并采集所述存储器响应所述激励信号获得的信号处理数据,持续至少160小时后完成动态老化,所述第二温度为100~125℃;步骤3,根据预存的校验数据对所述信号处理数据进行校验。本发明能够让所述编程后的抗辐照栅氧击穿型PROM存储器度过早期失效期,将潜在的缺陷尽早暴露,剔除缺陷芯片。

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