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公开(公告)号：CN116128797A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211382743.0
申请日：2022-11-04
Applicant: 上海精测半导体技术有限公司
Abstract: 本发明涉及一种缺陷复检的定位方法，包括：将晶圆划分为各个分区，根据各个分区的边缘处的晶粒标记点和/或最靠近边缘的晶粒标记点中选择非位于同一直线上的至少三个晶粒标记点作为各个分区的标记点；根据各个标记点在晶圆坐标系和复检设备的检测坐标系的坐标，计算各个分区的晶圆坐标系和检测坐标系之间的坐标转换矩阵；根据各个分区的缺陷在晶圆坐标系下的坐标及分区对应的坐标转换矩阵，得到缺陷在检测坐标系下的坐标。通过将晶圆进行划分为各个区域后，基于各个区域的标记点的位置获取各个区域的坐标转换矩阵，从而通过初检设备的初检结果文件中缺陷的坐标得到缺陷在复检设备中的坐标，可以降低非线性误差的影响，获得缺陷的精确位置区域。
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公开(公告)号：CN112833208B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202110019715.1
申请日：2021-01-07
Applicant: 上海精测半导体技术有限公司
Inventor： 缪晖华
Abstract: 本发明公开了一种真空阀门，涉及半导体生产技术领域。该真空阀门用于控制两个腔室之间的开闭，包括壳体、门板、弹性连接件、传动件及驱动件。所述壳体相对的两个侧面对应设置有开口，两个所述开口分别连接两个所述腔室之中的一个；所述门板滑动设置于所述壳体内，用于打开或关闭所述开口；所述弹性连接件弹性连接两块所述门板；所述传动件一端伸入所述壳体，所述传动件能够改变所述弹性连接件沿所述第二方向的弹性伸缩量，从而控制所述门板贴紧或远离所述开口的边缘。该真空阀门不需要设置经常维护的机械连杆机构，提高了阀门使用寿命，且能满足所需密封精度，还进一步减小了设备体积，且对零件的加工精度不敏感。
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公开(公告)号：CN114545581A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202210155709.3
申请日：2022-02-21
Applicant: 上海精测半导体技术有限公司
IPC: G02B7/00
Abstract: 本发明公开了一种光束孔调节装置，涉及光学或带电粒子束光学领域，包括底座，具有通孔；底座与第一直线驱动源连接以能沿X方向移动；主动模块，固定在底座上；主动模块具有第一柔性形变部，第一柔性形变部与第二直线驱动源连接以能沿Y方向产生形变；和从动模块，固定在底座上；从动模块具有与第一柔性形变部侧边接触的第二柔性形变部，第二柔性形变部上开设有光束孔，且光束孔能够与通孔连通；第一直线驱动源驱使底座运动完成光束孔向X方向移动，第二直线驱动源驱使第一柔性形变部形变以使得第二柔性形变部在Y方向产生形变；通过以上结构设置，减少了传统传动机构带来的误差影响，本方案有效的保障并提高了运动可重复性。
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公开(公告)号：CN114545581B
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202210155709.3
申请日：2022-02-21
Applicant: 上海精测半导体技术有限公司
IPC: G02B7/00
Abstract: 本发明公开了一种光束孔调节装置，涉及光学或带电粒子束光学领域，包括底座，具有通孔；底座与第一直线驱动源连接以能沿X方向移动；主动模块，固定在底座上；主动模块具有第一柔性形变部，第一柔性形变部与第二直线驱动源连接以能沿Y方向产生形变；和从动模块，固定在底座上；从动模块具有与第一柔性形变部侧边接触的第二柔性形变部，第二柔性形变部上开设有光束孔，且光束孔能够与通孔连通；第一直线驱动源驱使底座运动完成光束孔向X方向移动，第二直线驱动源驱使第一柔性形变部形变以使得第二柔性形变部在Y方向产生形变；通过以上结构设置，减少了传统传动机构带来的误差影响，本方案有效的保障并提高了运动可重复性。
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公开(公告)号：CN114212524B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202111599482.3
申请日：2021-12-24
Applicant: 上海精测半导体技术有限公司
Inventor： 缪晖华
IPC: B65G47/90
Abstract: 本发明提供了一种柔性铰链组件及基板抬升机构，该柔性铰链组件包括：第一柔性铰链，第二柔性铰链，以及柔性连接第一柔性铰链与第二柔性铰链的柔性连杆机构，第一柔性铰链的自由端与第二柔性铰链的自由端均用于被固定；柔性连杆机构包括至少三个首尾柔性连接的连杆，位于内侧的一所述连杆包括用于承载基板的第一承载面，当第一柔性铰链连接柔性连杆机构的第一端部受到水平推力使第一端部产生水平位移时，位于内侧的一连杆转动，并至少沿竖直方向产生位移以抬升所述基板。通过本发明，可提高对基板执行抬升过程中所施加力的准确性，以将基板抬升至准确的角度，避免了手动抬升基板过程中对基板的表面造成划伤，并有效地抑制了颗粒的产生。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114212524A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111599482.3
申请日：2021-12-24
Applicant: 上海精测半导体技术有限公司
Inventor： 缪晖华
IPC: B65G47/90
Abstract: 本发明提供了一种柔性铰链组件及基板抬升机构，该柔性铰链组件包括：第一柔性铰链，第二柔性铰链，以及柔性连接第一柔性铰链与第二柔性铰链的柔性连杆机构，第一柔性铰链的自由端与第二柔性铰链的自由端均用于被固定；柔性连杆机构包括至少三个首尾柔性连接的连杆，位于内侧的一所述连杆包括用于承载基板的第一承载面，当第一柔性铰链连接柔性连杆机构的第一端部受到水平推力使第一端部产生水平位移时，位于内侧的一连杆转动，并至少沿竖直方向产生位移以抬升所述基板。通过本发明，可提高对基板执行抬升过程中所施加力的准确性，以将基板抬升至准确的角度，避免了手动抬升基板过程中对基板的表面造成划伤，并有效地抑制了颗粒的产生。
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公开(公告)号：CN114334762A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111511557.8
申请日：2021-12-06
Applicant: 上海精测半导体技术有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/66 , H01J37/02 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供了一种样品传输装置，用于在半导体设备的腔体内传输样品，包括：传送台，用于放置样品；传送杆，与传送台活动结合或分离，传送杆的一端包括定位件，传送台内部构造出置入腔，在置入腔内使定位件进行周向转动和轴向移动，以将定位件在沿轴向移动方向上的前端面或后端面与传送台接触，通过定位件推拉传送台以在腔体内传输样品；限位模块，用于对传送杆限位使传送杆形成阻止作轴向移动的锁止状态，当对传送杆施加周向转动力使定位件转动时，实现定位件在锁止状态与能够驱动传送杆作轴向移动的解锁状态之间切换。本发明还提供一种包括样品传输装置的半导体设备。本发明解决了因静置的传送杆和传送台滑动而导致传送台发生碰撞的问题。
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公开(公告)号：CN114334760A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111475100.6
申请日：2021-12-06
Applicant: 上海精测半导体技术有限公司
Inventor： 缪晖华
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明揭示了一种样品传输装置，用于在半导体设备的腔体内传输样品，包括：传送台，用于放置样品；传送杆，用于推拉所述传送台以在腔体内传输样品；恒力组件，所述恒力组件的一端连接所述传送杆，所述恒力组件对传送杆施加恒定拉力。本发明还揭示了一种半导体设备，包括：腔体以及所述样品传输装置。在本发明提供的样品传输装置及半导体设备中，使用恒力组件为传送杆提供恒定拉力，从而有效地防止静置的传送杆和传送台滑动，并能够有效地排除传送杆因发生滑动导致传送台发生碰撞的隐患。
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公开(公告)号：CN112833208A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202110019715.1
申请日：2021-01-07
Applicant: 上海精测半导体技术有限公司
Inventor： 缪晖华
Abstract: 本发明公开了一种真空阀门，涉及半导体生产技术领域。该真空阀门用于控制两个腔室之间的开闭，包括壳体、门板、弹性连接件、传动件及驱动件。所述壳体相对的两个侧面对应设置有开口，两个所述开口分别连接两个所述腔室之中的一个；所述门板滑动设置于所述壳体内，用于打开或关闭所述开口；所述弹性连接件弹性连接两块所述门板；所述传动件一端伸入所述壳体，所述传动件能够改变所述弹性连接件沿所述第二方向的弹性伸缩量，从而控制所述门板贴紧或远离所述开口的边缘。该真空阀门不需要设置经常维护的机械连杆机构，提高了阀门使用寿命，且能满足所需密封精度，还进一步减小了设备体积，且对零件的加工精度不敏感。
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公开(公告)号：CN114301329B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202111599479.1
申请日：2021-12-24
Applicant: 上海精测半导体技术有限公司
Inventor： 缪晖华
Abstract: 本发明提供了一种压电摆台及半导体设备，该压电摆台包括：载台、轴承以及压电促动模块，载台与轴承连接，压电促动模块被配置为沿载台的转动轴线的周向切线方向上产生位移，使其沿周向切线方向在钳止和分离的两状态之间切换，以钳止或转动载台；当从钳止状切换为分离状态时，载台形成转动，通过至少两个压电促动模块对载台交替执行转动与钳止，以将载台转动至设定角度。本发明提供了一种压电摆台及半导体设备，可提高压电摆台的转动速度和可重复性，有效地避免了当转动载台时压电促动模块与载台或轴承之间出现持续的滑动摩擦，并有效地抑制了颗粒的产生。
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