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公开(公告)号：CN111445960B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN202010418037.1
申请日：2020-05-18
Applicant: 上海电机学院
Abstract: 本发明提供了一种14Cr17Ni2钢的锻造工艺参数的优化方法，包括：根据热压缩模拟实验获得的流变数据绘制加工硬化率曲线图，研究实验钢动态再结晶临界应变，直接获得变形工艺条件对临界应变的影响规律，从而更快、更准地得出始锻温度和终锻温度；以真应力真应变曲线数据为基础，通过绘制不同应变下的功率耗散图和不同应变下的流变失稳图建立热加工图，用于确定实验钢在不同应变下的加工安全区和失稳区，效率高，确认温度精度高；得到优化的始锻温度和终锻温度；并且根据优化后的始锻温度和终锻温度对钢进行锻造实验，确定各自的保温时间；最终通过检测微观组织是否符合要求得到锻造工艺的最佳参数，故直接通过观察组织得到锻造质量的肯定。
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公开(公告)号：CN114318232B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202011029732.5
申请日：2020-09-27
Applicant: 上海交通大学 , 上海电机学院 , 马鞍山经济技术开发区建设投资有限公司
Abstract: 一种包覆Al的Al3Ti金属间化合物纳米颗粒材料及其制备方法，采用物理气相沉积镀膜技术，通过Al、Ti两种组分共沉积的方法，通过控制Al、Ti两种组分的比例以及接近Al熔点的基材温度，使Al3Ti和Al两相在高温下实现分离生长并制备出由Al3Ti与Al组成的两相结构层和Al层相互交替重叠的多层结构复合薄膜获得。本发明制备得到具有形状和尺寸变化范围宽且表面包覆Al的Al3Ti纳米颗粒材料，不但易于加入到金属熔液中，而且不易产生颗粒的聚集，能够获得纳米颗粒均匀分散的复合材料，显著提高金属基复合材料，特别是Al基复合材料的性能。
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公开(公告)号：CN109940969B
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201910174559.9
申请日：2019-03-08
Applicant: 上海交通大学 , 上海电机学院 , 马鞍山经济技术开发区建设投资有限公司
Abstract: 一种具有微米量级层状结构Al2O3/Al复合板的制备方法，通过在铝箔的表面进行微弧氧化处理获得Al2O3层，形成外部为Al2O3层内部为Al层的夹芯Al2O3预制片；然后在夹芯Al2O3预制片的表面进一步进行物理气相沉积镀膜处理，形成两表面都镀有双层薄膜的夹芯Al2O3预制片；最后将若干表面都镀有双层薄膜的夹芯Al2O3预制片与若干铝箔交替重叠放置并通过真空热压和限位熔固处理，得到Al2O3/Al复合板。本发明通过可控的Al2O3层和Al层的厚度比可获得覆盖金属基至陶瓷基的层状复合材料，特别是能够实现复合材料中Al层和Al2O3层界面间的高强度连接。
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公开(公告)号：CN108336062B
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201810086772.X
申请日：2018-01-30
Applicant: 上海电机学院
IPC: H01L23/532 , H01L21/768 , C23C14/06 , C23C14/34 , C23C14/35
Abstract: 本发明是半导体集成电路技术领域，尤其涉及到一种Cu互连集成电路高熵合金扩散阻挡层及其制备方法。一种Cu互连集成电路高熵合金扩散阻挡层，自下而上依次包括Si基体层、高熵合金中间涂层和Cu膜，所述高熵合金中间涂层自下而上依次包括第三涂层、第二涂层以及第一涂层，所述第一涂层为AlCrTaTiZrMo高熵合金涂层，所述第二涂层为纯Ti涂层，所述第三涂层为AlCrTaTiZrMoNx高熵合金涂层。本发明有利于提高原子的堆积密度，减少空位等缺陷的产生，减少了原子的扩散通道，提高了高熵合金涂层的扩散阻挡性能和热稳定性。
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公开(公告)号：CN108336062A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810086772.X
申请日：2018-01-30
Applicant: 上海电机学院
IPC: H01L23/532 , H01L21/768 , C23C14/06 , C23C14/34 , C23C14/35
Abstract: 本发明是半导体集成电路技术领域，尤其涉及到一种Cu互连集成电路高熵合金扩散阻挡层及其制备方法。一种Cu互连集成电路高熵合金扩散阻挡层，自下而上依次包括Si基体层、高熵合金中间涂层和Cu膜，所述高熵合金中间涂层自下而上依次包括第三涂层、第二涂层以及第一涂层，所述第一涂层为AlCrTaTiZrMo高熵合金涂层，所述第二涂层为纯Ti涂层，所述第三涂层为AlCrTaTiZrMoNx高熵合金涂层。本发明有利于提高原子的堆积密度，减少空位等缺陷的产生，减少了原子的扩散通道，提高了高熵合金涂层的扩散阻挡性能和热稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114318232A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202011029732.5
申请日：2020-09-27
Applicant: 上海交通大学 , 上海电机学院 , 马鞍山经济技术开发区建设投资有限公司
Abstract: 一种包覆Al的Al3Ti金属间化合物纳米颗粒材料及其制备方法，采用物理气相沉积镀膜技术，通过Al、Ti两种组分共沉积的方法，通过控制Al、Ti两种组分的比例以及接近Al熔点的基材温度，使Al3Ti和Al两相在高温下实现分离生长并制备出由Al3Ti与Al组成的两相结构层和Al层相互交替重叠的多层结构复合薄膜获得。本发明制备得到具有形状和尺寸变化范围宽且表面包覆Al的Al3Ti纳米颗粒材料，不但易于加入到金属熔液中，而且不易产生颗粒的聚集，能够获得纳米颗粒均匀分散的复合材料，显著提高金属基复合材料，特别是Al基复合材料的性能。
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公开(公告)号：CN114277333A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202011029919.5
申请日：2020-09-27
Applicant: 上海交通大学 , 上海电机学院 , 马鞍山经济技术开发区建设投资有限公司
Abstract: 一种AlN纳米针垂直排列增强的Al基薄膜及其制备方法，采用基于物理气相沉积镀膜技术的反应沉积方法，通过控制Al、N两种组分的特定比例和接近Al熔点的基材温度，利用Al和AlN在高温下的两相分离生长和Al对高熔点AlN柱状晶的润湿效应制备得到针状AlN纳米柱状晶垂直排列于Al基体中结构的复合薄膜。作为金属的表面涂覆层材料，本发明通过垂直排列的高硬度AlN纳米针对外载的承受能力使薄膜获得高硬度，而连续Al基体的形变能力则使薄膜能够保持较高的韧性和耐磨性。
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公开(公告)号：CN111302833A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010262321.4
申请日：2020-04-06
Applicant: 上海电机学院
Abstract: 本发明提供了一种改善铝对氧化铝陶瓷润湿性的方法，其包括：先对氧化铝陶瓷表面进行抛光处理，再放置真空室内；将真空室的背底气压预抽，并将氧化铝陶瓷加热；待氧化铝陶瓷降至室温后，对真空室充入氩气，并保持压强；对氧化铝陶瓷进行磁控溅射时，先采用铝靶由直流阴极控制，得到铝层；在铝层的表面再采用铜靶由射频阴极控制，得到铜层，整个薄膜沉积过程中，氧化铝陶瓷基片不加热也不施加负偏压；本发明通过磁控溅射的方法在氧化铝陶瓷表面沉积铝/铜双层膜，从而改善了铝或铝合金对氧化铝陶瓷的润湿性；利用本发明的方法实现了铝对氧化铝陶瓷的直接润湿，润湿界面处不存在任何反应过渡层，可获得高的界面强度，从而提高复合材料的力学性能。
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公开(公告)号：CN105436643A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201610009353.7
申请日：2016-01-07
Applicant: 上海电机学院
IPC: B23K1/008 , B23K1/19 , B23K1/20 , B23K35/28 , B23K103/18
CPC classification number: B23K1/008 , B23K1/19 , B23K1/20 , B23K35/286 , B23K2103/18
Abstract: 本发明提供一种氧化铝陶瓷的铝或铝合金直接钎焊方法，包括如下步骤：通过物理气相沉积镀膜的方法在Al2O3陶瓷的待钎焊表面镀覆作为钎料的纯Al或Al合金涂层，然后将两陶瓷以涂层面相对紧贴放置并施加压紧力后进行真空加热钎焊。本发明采用Al或Al合金对Al2O3陶瓷直接钎焊，避免了已有钎焊方法需对陶瓷进行金属化而在钎缝和陶瓷间产生过渡层的不足，获得具有高强度和高韧性的钎焊接头；本方法可在较低的真空度下进行钎焊，并且在大面积的平面钎焊接头中获得很高的钎透率，可作为连接技术用于Al2O3陶瓷的加工和制造。
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公开(公告)号：CN114318258B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202011054762.1
申请日：2020-09-27
Applicant: 上海交通大学 , 上海电机学院 , 马鞍山经济技术开发区建设投资有限公司
IPC: C23C14/35 , C23C14/24 , C23C14/06 , C23C14/54 , B22F1/18 , C23C14/02 , C01B21/072 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 一种包覆Al的AlN纳米颗粒及其制备方法，采用物理气相沉积镀膜技术，通过制备出由AlN与Al组成的两相结构层和Al层相互交替重叠的多层结构复合薄膜获得，其中的两相结构层采用反应沉积方法，通过控制Al、N两种组分的比例以及接近Al熔点的基材温度，使AlN和Al两相在高温下实现分离生长，形成AlN纳米柱状晶被金属Al包覆并排列于Al的基体之中的两相结构。本发明制备得到的形状和尺寸变化范围宽且表面包覆Al的AlN纳米颗粒材料易于加入到金属熔液中且不易产生颗粒的聚集，能够获得纳米颗粒均匀分散的复合材料，显著提高金属基复合材料，特别是Al基复合材料的性能。
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