公开(公告)号：CN108917662A

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201810480266.9

申请日：2018-05-18

Applicant: 上海理工大学 ,  上海光学仪器研究所

Inventor： 盛斌 ,  黄元申 ,  吕昊宇 ,  刘安琪 ,  李红叶

IPC: G01B11/30

Abstract: 本发明涉及一种参考面平面度检验的优化方法，将第一平面标准镜和第二平面标准镜及被测件通过数字波面干涉仪的参考面平面度检验方法进行测量，并计算出第一平面标准镜的工作面A、第二平面标准镜的工作面B和被测件的被测面C的绝对面形分布；通过已经计算得出的第一平面标准镜的工作面A、第二平面标准镜的工作面B和被测件的被测面C的Zernike多项式系数，进行角度扫描的仿真计算，求得不同旋转角度下，被测件的被测面C的计算误差，选择其计算误差最小值对应的旋转角度作为附加测试的旋转角度；通过简单计算即可以得到三个平面更高精度的平面度检验结果。本发明通过优化测试中所需旋转的角度，提高了平面度检验精度，适用于多个面形的绝对测量。

公开(公告)号：CN107954392A

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：CN201711213891.9

申请日：2017-11-28

Applicant: 上海理工大学

Inventor： 盛斌 ,  李红叶 ,  彭丽娜 ,  张翔 ,  王良玉 ,  黄元申 ,  倪争技

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明涉及一种PDMS变周期环形微褶皱结构的制备方法，首先制备PDMS软薄膜；将制备好的薄膜剪裁为圆形；将剪裁后的圆形薄膜固定于一个具有圆形孔洞的夹具上，然后从该孔洞使用预先定制特定角度的角锥将所述薄膜顶推形成锥状结构；将低压汞灯（含有两种波长的光，185nm和254nm）水平固定于步进电机上，且置于锥状结构上端；对上述形成的锥状结构均匀照射一定时间，在PDMS软膜表面形成一层厚度不同的SiOx硬膜，之后取消顶推，使所述软硬两层薄膜表面形成变周期环形微褶皱结构，完成制备，并且形成的结构为中心疏边缘密的同心圆环褶皱。该方法具有操作简单，制备周期短，成本低的优点，可以用作菲涅尔透镜和菲涅尔波带片。

公开(公告)号：CN108917662B

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201810480266.9

申请日：2018-05-18

Applicant: 上海理工大学 ,  上海光学仪器研究所

Inventor： 盛斌 ,  黄元申 ,  吕昊宇 ,  刘安琪 ,  李红叶

IPC: G01B11/30

Abstract: 本发明涉及一种参考面平面度检验的优化方法，将第一平面标准镜和第二平面标准镜及被测件通过数字波面干涉仪的参考面平面度检验方法进行测量，并计算出第一平面标准镜的工作面A、第二平面标准镜的工作面B和被测件的被测面C的绝对面形分布；通过已经计算得出的第一平面标准镜的工作面A、第二平面标准镜的工作面B和被测件的被测面C的Zernike多项式系数，进行角度扫描的仿真计算，求得不同旋转角度下，被测件的被测面C的计算误差，选择其计算误差最小值对应的旋转角度作为附加测试的旋转角度；通过简单计算即可以得到三个平面更高精度的平面度检验结果。本发明通过优化测试中所需旋转的角度，提高了平面度检验精度，适用于多个面形的绝对测量。

公开(公告)号：CN107388996A

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201710804290.9

申请日：2017-09-08

Applicant: 上海理工大学

Inventor： 黄元申 ,  吕昊宇 ,  盛斌 ,  韩森 ,  陶春先 ,  吴鹤 ,  李超洋 ,  李红叶

IPC: G01B11/30

CPC classification number: G01B11/30

Abstract: 本发明公开了一种参考面平面度检验方法，该方法通过四次斐索干涉仪的干涉，得到四组波面数据，通过简单计算即可以得到三个平面的绝对检验平面度。本发明简化了计算方法，针对于传统的Zernike方法对于360°/N(N＝2，3，4，…)旋转角度无法使用的问题进行了改进，并且可以不再受限于传统方法中的计算顺序，适用于多个面形的绝对测量。