公开(公告)号：CN108917662B

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201810480266.9

申请日：2018-05-18

Applicant: 上海理工大学 ,  上海光学仪器研究所

Inventor： 盛斌 ,  黄元申 ,  吕昊宇 ,  刘安琪 ,  李红叶

IPC: G01B11/30

Abstract: 本发明涉及一种参考面平面度检验的优化方法，将第一平面标准镜和第二平面标准镜及被测件通过数字波面干涉仪的参考面平面度检验方法进行测量，并计算出第一平面标准镜的工作面A、第二平面标准镜的工作面B和被测件的被测面C的绝对面形分布；通过已经计算得出的第一平面标准镜的工作面A、第二平面标准镜的工作面B和被测件的被测面C的Zernike多项式系数，进行角度扫描的仿真计算，求得不同旋转角度下，被测件的被测面C的计算误差，选择其计算误差最小值对应的旋转角度作为附加测试的旋转角度；通过简单计算即可以得到三个平面更高精度的平面度检验结果。本发明通过优化测试中所需旋转的角度，提高了平面度检验精度，适用于多个面形的绝对测量。

公开(公告)号：CN107388996A

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201710804290.9

申请日：2017-09-08

Applicant: 上海理工大学

Inventor： 黄元申 ,  吕昊宇 ,  盛斌 ,  韩森 ,  陶春先 ,  吴鹤 ,  李超洋 ,  李红叶

IPC: G01B11/30

CPC classification number: G01B11/30

Abstract: 本发明公开了一种参考面平面度检验方法，该方法通过四次斐索干涉仪的干涉，得到四组波面数据，通过简单计算即可以得到三个平面的绝对检验平面度。本发明简化了计算方法，针对于传统的Zernike方法对于360°/N(N＝2，3，4，…)旋转角度无法使用的问题进行了改进，并且可以不再受限于传统方法中的计算顺序，适用于多个面形的绝对测量。

公开(公告)号：CN108917662A

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201810480266.9

申请日：2018-05-18

Applicant: 上海理工大学 ,  上海光学仪器研究所

Inventor： 盛斌 ,  黄元申 ,  吕昊宇 ,  刘安琪 ,  李红叶

IPC: G01B11/30

Abstract: 本发明涉及一种参考面平面度检验的优化方法，将第一平面标准镜和第二平面标准镜及被测件通过数字波面干涉仪的参考面平面度检验方法进行测量，并计算出第一平面标准镜的工作面A、第二平面标准镜的工作面B和被测件的被测面C的绝对面形分布；通过已经计算得出的第一平面标准镜的工作面A、第二平面标准镜的工作面B和被测件的被测面C的Zernike多项式系数，进行角度扫描的仿真计算，求得不同旋转角度下，被测件的被测面C的计算误差，选择其计算误差最小值对应的旋转角度作为附加测试的旋转角度；通过简单计算即可以得到三个平面更高精度的平面度检验结果。本发明通过优化测试中所需旋转的角度，提高了平面度检验精度，适用于多个面形的绝对测量。