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公开(公告)号：CN111037464B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN201911317219.3
申请日：2019-12-19
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种针式磁性复合流体电磁抛光头尺寸的优化设计方法，首先基于针式磁性复合流体电磁抛光头的结构设计，在确定工件抛光深度的条件下，设载流螺线管的电磁体铁芯直径为D长度为L,选取不同长径比a＝L/D的电磁铁，求取在不同铁芯下磁场范围内选定不同点的磁场强度B，再利用标准差公式计算相应的标准偏差σB，从而求出不同铁芯长径比a下的磁场强度均匀度，根据磁场均匀强度得出铁芯长径比的最优解，最后调整线圈匝数，控制磁性复合流体达到极限剪切屈服强度，完善针式磁性复合流体电磁抛光头结构。进一步优化针式磁性复合流体电磁抛光头电磁铁铁芯尺寸的设计，从而获得抛光过程中对材料表面均匀去除的效果。
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公开(公告)号：CN109352516B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201811415729.X
申请日：2018-11-26
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种磁性复合流体深孔抛光对刀夹紧装置，包括竖直移动支架、对刀机构、水平移动支架、载物台以及螺旋夹紧装置，所述的竖直移动支架下侧为带有螺纹孔的第一凸台，该第一凸台的螺纹孔与水平移动支架的第二螺杆相互配合连接，所述的水平移动支架通过螺钉固定在载物台上，所述的对刀机构包括指针和对刀块，该对刀块底部置有圆锥凸台，侧面置有带螺纹孔的第二凸台，该第二凸台的螺纹孔与竖直移动支架的第一螺杆配合连接；所述螺旋夹紧装置通过螺钉固定在载物台上。本发明的有益效果是：本发明具有结构简单，操作方便，实现了针式磁性抛光头与待抛光孔的精确对刀。
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公开(公告)号：CN109732466A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201910053037.3
申请日：2019-01-21
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明公开了一种用于波导行波管的超声辅助磁性复合流体抛光方法，涉及波导行波管的加工领域，包括如下步骤：对波导行波管以抛光头转速方向为X轴，与X轴垂直方向为Y轴，建立XOY截面第一类加工轨迹和第二类加工轨迹；确定第一类加工轨迹下单位体积磁性复合流体流动所需能量值；确定辅助超声装置需产生的超声能量值；确定辅助超声装置的超声发射源所需振幅输出值；确定超声发射源振幅输出值的控制方式；确定第二类加工轨迹下辅助超声装置的超声发射源所需振幅输出值。本发明通过控制超声信号振幅与磁性复合流体不同方向的速度矢量，确保磁性复合流体与波导行波管凹槽的充分接触，实现波导行波管的高精密加工。
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公开(公告)号：CN111037464A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911317219.3
申请日：2019-12-19
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种针式磁性复合流体电磁抛光头尺寸的优化设计方法，首先基于针式磁性复合流体电磁抛光头的结构设计，在确定工件抛光深度的条件下，设载流螺线管的电磁体铁芯直径为D长度为L,选取不同长径比a＝L/D的电磁铁，求取在不同铁芯下磁场范围内选定不同点的磁场强度B，再利用标准差公式计算相应的标准偏差σB，从而求出不同铁芯长径比a下的磁场强度均匀度，根据磁场均匀强度得出铁芯长径比的最优解，最后调整线圈匝数，控制磁性复合流体达到极限剪切屈服强度，完善针式磁性复合流体电磁抛光头结构。进一步优化针式磁性复合流体电磁抛光头电磁铁铁芯尺寸的设计，从而获得抛光过程中对材料表面均匀去除的效果。
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公开(公告)号：CN110405962B
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN201910666021.X
申请日：2019-07-23
Applicant: 上海理工大学
IPC: B28D5/00 , B28D7/00 , B28D7/04 , H01L21/304 , H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明涉及一种自动翻转式半导体解理装置及加工方法，该装置由压片机和划片机组成，压片机的工作台两侧的支撑板上端间连接有旋转轴，旋转轴通过两侧的杆件与划片机的工作台两侧连接，旋转轴的一端连接步进电机，另一端与角度传感器相连接；划片机的工作台底部通过半圆形槽和固定轴相贴紧形成划片机的工作台所需的夹紧力；压片机的工作台和划片机的工作台上分别设有压片吸盘和划片吸盘；该方法的步骤为：将晶圆放置在划片吸盘上对准吸附，夹紧划片工作台，进而完成划切；再将划片工作台往压片工作台方向翻转150度时，松开吸盘上晶圆；然后通过CCD相机实时监测晶圆是否被压片吸盘对准吸附；最后从压片吸盘上取下已压裂的晶圆并放置一旁。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109732466B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201910053037.3
申请日：2019-01-21
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明公开了一种用于波导行波管的超声辅助磁性复合流体抛光方法，涉及波导行波管的加工领域，包括如下步骤：对波导行波管以抛光头在波导行波管表面切点处的线速度的方向为X轴，与X轴垂直方向为Y轴，建立XOY截面第一类加工轨迹和第二类加工轨迹；确定第一类加工轨迹下单位体积磁性复合流体流动所需能量值；确定辅助超声装置需产生的超声能量值；确定辅助超声装置的超声发射源所需振幅输出值；确定超声发射源振幅输出值的控制方式；确定第二类加工轨迹下辅助超声装置的超声发射源所需振幅输出值。本发明通过控制超声信号振幅与磁性复合流体不同方向的速度矢量，确保磁性复合流体与波导行波管凹槽的充分接触，实现波导行波管的高精密加工。
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公开(公告)号：CN109877710B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201910203305.5
申请日：2019-03-18
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种周期性微型槽表面磨料水射流抛光装置，包括挡板、挡片、刻度盘、工作台、支承板、伺服电机、底座、导轨、射流喷头、支架、步进电机、固定板、齿轮；所述支架上端设有挡板，下端固定连接在底座上，挡板下方设有步进电机和射流喷头，步进电机与射流喷头通过齿轮啮合运转；底座上面装有导轨及伺服电机，伺服电机通过丝杆及滑块连接支承板及工作台，由伺服电机驱动滑块移动从而带动工作台移动；工作台表面设有刻度盘，用于确定工件在安装和固定时的相应位置；工作台上设置挡片，挡片上的刻度与刻度盘对应，并通过螺栓紧固对工件进行夹紧。本发明结构简单，易于操作，不需要数控系统便可实现对周期性微型槽表面的抛光加工。
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公开(公告)号：CN109877710A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910203305.5
申请日：2019-03-18
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种周期性微型槽表面磨料水射流抛光装置，包括挡板、挡片、刻度盘、工作台、支承板、伺服电机、底座、导轨、射流喷头、支架、步进电机、固定板、齿轮；所述支架上端设有挡板，下端固定连接在底座上，挡板下方设有步进电机和射流喷头，步进电机与射流喷头通过齿轮啮合运转；底座上面装有导轨及伺服电机，伺服电机通过丝杆及滑块连接支承板及工作台，由伺服电机驱动滑块移动从而带动工作台移动；工作台表面设有刻度盘，用于确定工件在安装和固定时的相应位置；工作台上设置挡片，挡片上的刻度与刻度盘对应，并通过螺栓紧固对工件进行夹紧。本发明结构简单，易于操作，不需要数控系统便可实现对周期性微型槽表面的抛光加工。
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公开(公告)号：CN109759924A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201910046765.1
申请日：2019-01-14
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种双龙门单横梁移动式组合加工机床，双龙门结构中间的床身底座上设有水平方向的Z1轴伺服移动机构；每个龙门立柱中设有竖直方向的Y轴伺服移动机构，两个Y轴伺服移动机构上面连接一个X轴伺服移动机构，中间单横梁置于两个X轴伺服移动机构的工作架上，中间单横梁下面设有Z2轴伺服移动机构；两个X轴移动工作架上分别装有气囊抛光工艺系统和射流抛光工艺系统，Z2轴移动工作架上装有小磨头光顺工艺系统；通过伺服电机与滚珠丝杠副使导轨、中间横梁与X轴移动工作架始终保持同步运动，使三种抛光加工工具可以到达加工范围内任意的指定位置，提高了加工效率，克服了传统光学玻璃加工过程中不同工艺间多次定位产生误差的弊端。
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公开(公告)号：CN109352516A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811415729.X
申请日：2018-11-26
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种磁性复合流体深孔抛光对刀夹紧装置，包括竖直移动支架、对刀机构、水平移动支架、载物台以及螺旋夹紧装置，所述的竖直移动支架下侧为带有螺纹孔的第一凸台，该第一凸台的螺纹孔与水平移动支架的第二螺杆相互配合连接，所述的水平移动支架通过螺钉固定在载物台上，所述的对刀机构包括指针和对刀块，该对刀块底部置有圆锥凸台，侧面置有带螺纹孔的第二凸台，该第二凸台的螺纹孔与竖直移动支架的第一螺杆配合连接；所述螺旋夹紧装置通过螺钉固定在载物台上。本发明的有益效果是：本发明具有结构简单，操作方便，实现了针式磁性抛光头与待抛光孔的精确对刀。
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