公开(公告)号：CN119028897A

公开(公告)日：2024-11-26

申请号：CN202411144276.7

申请日：2024-08-20

Applicant: 上海无线电设备研究所

Inventor： 赵猛 ,  黄志伟 ,  司力琼 ,  谢小彤 ,  陈旭东 ,  李健 ,  陆子劼 ,  杨晓萍

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/60 ,  H01L21/768

Abstract: 本发明公开了一种用于微波模块自动键合的通用工装及使用方法，包括：底座，底座为一与自动键合设备的工作台匹配的平板结构件，底座的正面设置有阵列的螺纹盲孔，且底座的正面用于放置微波模块，底座的背面设置有真空吸附槽，真空吸附槽与自动键合设备的真空吸附系统配合，以固定底座；限位块，限位块设置于微波模块相邻的两个侧面外围，限位块上设置有第一通孔，第一通孔与底座上的螺纹盲孔匹配，第一螺钉穿过第一通孔将限位块固定在底座上；滑块，滑块设置于微波模块周围与限位块相对的侧面外围，滑块上设置有长圆形的第二通孔，第二螺钉穿过第二通孔并进入螺纹盲孔内固定滑块，滑块与限位块将微波模块夹紧在底座上。