公开(公告)号：CN106932399A

公开(公告)日：2017-07-07

申请号：CN201511025773.6

申请日：2015-12-30

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 梁海亮

IPC: G01N21/88

Abstract: 本发明公开了一种暗场照明装置及表面缺陷检测装置，其中，所述暗场照明装置包括光源、光传导匀化结构、固定件及装置固定架，所述光传导匀化结构包括入射端、传导段和若干出射端，所述光源发出的光入射到所述入射端端面，经所述传导段后从若干所述出射端倾斜于待测试平面射出，若干所述出射端构成环形，并通过所述固定件固定在所述装置固定架上，所述光传导匀化结构为一体式注塑结构。本发明采用的光传导匀化结构为一体式注塑结构，光源发出的光在其中进行传导时发生全反射，各个方向的全反射对光进行匀化，提高了暗场照明装置的照明均匀性，同时，一体式注塑结构具有接近100％的填充率，一体式注塑结构简单，易于制造和装配。

公开(公告)号：CN106569391A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201510647145.5

申请日：2015-10-08

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 冯日盛 ,  许琦欣 ,  梁海亮

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及一种极紫外光产生、收集系统及方法，所述系统包括Sn滴装置，在轰击平面上沿圆形路径或水平直线产生Sn滴；光源产生单元，在轰击平面上产生与所述Sn滴做同步运动的脉冲激光，轰击所述Sn滴；反射镜收集单元，用于收集所述Sn滴被轰击后产生的极紫外光并进行汇聚反射；二次反射单元，接收所述反射镜收集单元反射的极紫外光，并将所述极紫外光进行二次汇聚反射到同一焦点上；以及同步控制单元，用于对所述光源产生单元、Sn滴装置以及二次反射单元进行同步协调控制。本发明在水平方向增加Sn滴的数量，提高了LPP光源的功率，且保证了脉冲EUV光的稳定性。