公开(公告)号：CN104749902A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201310752194.6

申请日：2013-12-31

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 李玲雨 ,  李玉龙

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70741 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70783 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明公开了一种掩模板面型整形装置，包括：吸盘、吸盘安装框架以及气动控制系统；其中，所述吸盘安装框架设置在掩模台上方，所述吸盘分散安装在所述吸盘安装框架的底部；所述气动控制系统用于控制所述吸盘吸取或释放掩模板。本发明的吸盘的设置避开了掩模板上的梯形照明视场，使得光束100%照射到掩模上，提高了曝光效率；掩模板面型整形装置单独设置，不安装在光刻机上，减少了掩模板的重量负荷，且掩模板面型整形装置不与光刻机中的任何部件接触，不会给光刻机带来外部的震动。

公开(公告)号：CN104749902B

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201310752194.6

申请日：2013-12-31

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 李玲雨 ,  李玉龙

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70741 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70783 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明公开了一种掩模板面型整形装置，包括：吸盘、吸盘安装框架以及气动控制系统；其中，所述吸盘安装框架设置在掩模台上方，所述吸盘分散安装在所述吸盘安装框架的底部；所述气动控制系统用于控制所述吸盘吸取或释放掩模板。本发明的吸盘的设置避开了掩模板上的梯形照明视场，使得光束100%照射到掩模上，提高了曝光效率；掩模板面型整形装置单独设置，不安装在光刻机上，减少了掩模板的重量负荷，且掩模板面型整形装置不与光刻机中的任何部件接触，不会给光刻机带来外部的震动。

公开(公告)号：CN106569394A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201510647164.8

申请日：2015-10-08

Applicant: 上海微电子装备有限公司 ,  上海微高精密机械工程有限公司

Inventor： 李玲雨 ,  许琦欣

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/64

Abstract: 本发明涉及一种掩模整形装置，包括整形框架、整形玻璃、真空吸附气路及恒压控制气路，整形框架设在掩模边缘上方，并通过若干弹性部件连接掩模台；整形框架中部为中空结构，该中空结构与掩模相对应；整形玻璃固定罩设于整形框架的中空结构上；真空吸附气路与整形框架和掩模台的连接处连通，通过抽气和进气，控制整形框架与掩模接触和分离；整形框架与掩模接触使得中空结构被密封，恒压控制气路与中空结构连通，通过抽气和进气控制密封的中空结构内的气压恒定，补偿掩模由自重产生的变形。本发明掩模整形装置的固定和中空结构的密闭均通过真空吸附方式，没有增加额外的机械结构，降低了整机集成复杂度，避免了结构之间相互摩擦带来的颗粒污染问题。

公开(公告)号：CN104635427A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201310563365.0

申请日：2013-11-14

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 李玉龙 ,  李玲雨 ,  许琦欣

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开一种用于光刻设备的掩模固位系统，包括：掩模台和被承载的掩模；其特征在于，还包括掩模真空整形装置，用于使所述掩模保持面形、补偿挠曲。本发明同时公开一种用于光刻设备的掩模整形的方法。与现有技术相比较，本发明解决了步进扫描光刻机中，大掩模板自重变形补偿问题，使掩模板在整个扫描运动过程中，自重变形得到有效控制，无需通过物镜对物面进行调节。通过在掩模台和密封舱之间设置卡合装置，避免发生位移。

公开(公告)号：CN205723481U

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201620387241.0

申请日：2016-04-29

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 李玲雨 ,  许琦欣

IPC: H01L21/677

Abstract: 本实用新型提供了一种片盒运输装置，所述片盒运输装置包括智能小车、架设在所述智能小车上的底部扩展框架以及固定在所述底部扩展框架上的片盒承载框架，所述片盒承载框架被分隔为多层，每层设有多个片盒承载板；其中，所述片盒承载板表面设置有第一凹槽及设置于所述第一凹槽内的第二凹槽，所述第一凹槽用于承载第一规格的片盒，所述第二凹槽用于承载第二规格的片盒。通过第一凹槽和第二凹槽，实现同一片盒承载板承载两种不同规格的片盒，从而使得片盒运输装置适用两种不同规格的片盒的运输，提高了运输产率。此外，通过智能小车搬运，无需铺设系统轨道及人工参与运输，实现片盒的自动运输的同时降低了运输成本，省时省力。