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公开(公告)号：CN102636961B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201110036695.5
申请日：2011-02-12
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种旋转光刻机，所述旋转光刻机包括：主框架；用以承载硅片的硅片台，所述硅片台设置于所述主框架内；用以将曝光图形成像于硅片上的曝光装置，所述曝光装置与所述主框架连接；所述硅片台绕其中轴作水平旋转；所述曝光装置沿所述硅片台作水平向移动。本发明提供的旋转光刻机减小了光刻机机台尺寸，进一步的，减少了生产空间的占用，降低了生产成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102636961A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201110036695.5
申请日：2011-02-12
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种旋转光刻机，所述旋转光刻机包括：主框架；用以承载硅片的硅片台，所述硅片台设置于所述主框架内；用以将曝光图形成像于硅片上的曝光装置，所述曝光装置与所述主框架连接；所述硅片台绕其中轴作水平旋转；所述曝光装置沿所述硅片台作水平向移动。本发明提供的旋转光刻机减小了光刻机机台尺寸，进一步的，减少了生产空间的占用，降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN102466975A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010535266.8
申请日：2010-11-08
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种连杆驱动工件台系统，包括工件台，所述工件台通过气浮轴承设置在基台上；它还包括连杆机构，所述连杆机构的一端与所述的工件台活动连接，另一端与参照体活动连接；所述连杆机构至少一端还设置有驱动电机，所述驱动电机通过连杆机构带动工件台运动。本发明结构简单、制造成本低。
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公开(公告)号：CN102487030B
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201010575399.8
申请日：2010-12-06
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明的双工件台夹持机构包括静夹头、设置在所述静夹头下方的动夹头、设置在所述动夹头下方的夹持装置，以及驱动所述夹持装置动作的驱动装置，所述夹持装置推动所述动夹头与所述静夹头夹紧或松开，负载通过板簧与所述动夹头固定连接，其特征在于，还包括防护结构，所述防护结构包括所述静夹头一端设有的挂钩和所述动夹头顶端设有的凸起，所述挂钩插在所述凸起内，使所述动夹头和静夹头连接在一起。本发明的双工件台夹持机构能避免被动夹持力失效时负载碰撞夹持机构。
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公开(公告)号：CN102537207A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010592538.8
申请日：2010-12-16
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: F16F15/28
Abstract: 本发明提出一种平衡质量体，用于减震台中，放置在工件台与基础框架之间用于消除工件台运动对基础框架产生的反作用力。平衡质量体包括壳体和液体，液体充满壳体中。其中所述液体的密度大于等于13.6g/cm3。本发明提出的平衡质量体，在相同质量的情况下，体积小，节约空间，节约壳体材料，节约生产成本。且高密度的液体阻尼大，可以更好的隔离振动，甚至完全隔离振动，以保证基础框架的稳定性。本发明所提供的平衡质量体还能够减少温度变化对于其自身体积的影响，降低系统误差。
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公开(公告)号：CN102487030A
公开(公告)日：2012-06-06
申请号：CN201010575399.8
申请日：2010-12-06
Applicant: 上海微电子装备有限公司
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明的双工件台夹持机构包括静夹头、设置在所述静夹头下方的动夹头、设置在所述动夹头下方的夹持装置，以及驱动所述夹持装置动作的驱动装置，所述夹持装置推动所述动夹头与所述静夹头夹紧或松开，负载通过板簧与所述动夹头固定连接，其特征在于，还包括防护结构，所述防护结构包括所述静夹头一端设有的挂钩和所述动夹头顶端设有的凸起，所述挂钩插在所述凸起内，使所述动夹头和静夹头连接在一起。本发明的双工件台夹持机构能避免被动夹持力失效时负载碰撞夹持机构。
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