公开(公告)号：CN112947004B

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN201911174594.7

申请日：2019-11-26

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 赵文波 ,  赵乾伟 ,  闫法领

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及光刻设备技术领域，公开一种清洁装置及曝光方法。所述清洁装置包括安装架、清洁石组件和快拆组件，清洁石组件用于清洁待清洁物，快拆组件可转动地设置于安装架上，清洁石组件与快拆组件可拆卸连接。通过转动快拆组件，进而带动清洁石组件转动，从而达到清洁待清洁物的目的。其中，快拆组件具有第一位置和第二位置，当快拆组件位于第一位置时，清洁石组件能够从快拆组件上拆卸，便于更换清洁石组件；当快拆组件位于第二位置时，清洁石组件能够限位于快拆组件上，以保证清洁石组件的正常使用。本发明中的快拆组件的设置，可实现清洁石组件快速地更换，使得该清洁装置在更换清洁石组件时更简单、快捷，提高了清洁效率。

公开(公告)号：CN112947004A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201911174594.7

申请日：2019-11-26

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 赵文波 ,  赵乾伟 ,  闫法领

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及光刻设备技术领域，公开一种清洁装置及曝光方法。所述清洁装置包括安装架、清洁石组件和快拆组件，清洁石组件用于清洁待清洁物，快拆组件可转动地设置于安装架上，清洁石组件与快拆组件可拆卸连接。通过转动快拆组件，进而带动清洁石组件转动，从而达到清洁待清洁物的目的。其中，快拆组件具有第一位置和第二位置，当快拆组件位于第一位置时，清洁石组件能够从快拆组件上拆卸，便于更换清洁石组件；当快拆组件位于第二位置时，清洁石组件能够限位于快拆组件上，以保证清洁石组件的正常使用。本发明中的快拆组件的设置，可实现清洁石组件快速地更换，使得该清洁装置在更换清洁石组件时更简单、快捷，提高了清洁效率。

公开(公告)号：CN211330396U

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN201922065267.X

申请日：2019-11-26

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 赵文波 ,  闫法领 ,  赵乾伟

IPC: B08B1/02 ,  G03F7/20

Abstract: 本实用新型公开了一种清洁装置及光刻设备，该清洁装置包括：安装架、动力元件、连接件和清洁石，动力元件设置在安装架上，连接件包括活动板和连接杆，活动板的一端与动力元件的输出轴连接，连接杆的一端连接至活动板的另一端，连接杆的另一端与清洁石连接。上述的清洁装置能够提高吸盘清洁效率，提高光刻设备产率。相应地，本实用新型还提供一种光刻设备。