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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117666288A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202211056384.X
申请日：2022-08-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种调焦调平测量装置，包括照明单元、投影单元及探测单元，照明单元发出入射光线经投影单元投射于待测区域形成至少两个子光斑，至少两个子光斑的反射光携带待测区域的至少两个表面信息进入探测单元，利用至少两个表面信息获得待测区域的位置信息。本发明中，通过在待测区域的不同区域形成至少两个子光斑，或者在待测区域形成至少两个不同光波段的子光斑，在获取待测区域的更全面的表面信息时，还可利用不同子光斑对不同工艺片的敏感程度，提高调焦调平测量装置对不同工艺的适应性。
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公开(公告)号：CN108508713B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201710115103.6
申请日：2017-02-28
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F9/00
Abstract: 本发明公开了一种掩模传输预对准装置及方法，依次包括光源模组、预对准测试部件和成像模组；光源模组依次包括光源、准直单元和带十字标记的掩模版；成像模组包括第一转折棱镜、半透半反射棱镜、CCD探测器和四象限探测器，所述光源发出的光线进入所述成像模组后，依次经第一转折棱镜和半透半反射棱镜后，其中一部分进入CCD探测器，另一部分进入四象限探测器。在对准过程中，首先将带十字标记的掩模版上十字标记成像在CCD探测器中，检测出光源模组与成像模组之间的位置偏差量，并根据该位置偏差量对之后的四象限探测器测量值进行线性校准补偿，实现了自身检测和标定的功能，解决光源模组和成像模组对准精度不高的问题，保证了预对准精度。
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公开(公告)号：CN107664922B
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201610614644.9
申请日：2016-07-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明揭示了一种扫描反射镜振幅测量装置及测量方法。所述扫描反射镜振幅测量装置包括光源，输出光信号；光阑，调节所述光源输出光信号的光斑的大小以及形状；扫描反射镜设置结构，用于安置待测量的扫描反射镜，所述扫描反射镜安置后周期性反射所述光信号；光电传感器，包括3个以上的传感器单元，探测并采集经所述扫描反射镜反射后的光信号；信号采集及处理器，处理所述光电传感器采集到的信号，获得所述扫描反射镜的振幅。由此，能够在扫描反射镜应用前对扫描反射镜特性进行方便测量，识别扫描发射镜性能好坏。
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公开(公告)号：CN108508713A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201710115103.6
申请日：2017-02-28
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F9/00
Abstract: 本发明公开了一种掩模传输预对准装置及方法，依次包括光源模组、预对准测试部件和成像模组；光源模组依次包括光源、准直单元和带十字标记的掩模版；成像模组包括第一转折棱镜、半透半反射棱镜、CCD探测器和四象限探测器，所述光源发出的光线进入所述成像模组后，依次经第一转折棱镜和半透半反射棱镜后，其中一部分进入CCD探测器，另一部分进入四象限探测器。在对准过程中，首先将带十字标记的掩模版上十字标记成像在CCD探测器中，检测出光源模组与成像模组之间的位置偏差量，并根据该位置偏差量对之后的四象限探测器测量值进行线性校准补偿，实现了自身检测和标定的功能，解决光源模组和成像模组对准精度不高的问题，保证了预对准精度。
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公开(公告)号：CN107664922A
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201610614644.9
申请日：2016-07-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明揭示了一种扫描反射镜振幅测量装置及测量方法。所述扫描反射镜振幅测量装置包括光源，输出光信号；光阑，调节所述光源输出光信号的光斑的大小以及形状；扫描反射镜设置结构，用于安置待测量的扫描反射镜，所述扫描反射镜安置后周期性反射所述光信号；光电传感器，包括3个以上的传感器单元，探测并采集经所述扫描反射镜反射后的光信号；信号采集及处理器，处理所述光电传感器采集到的信号，获得所述扫描反射镜的振幅。由此，能够在扫描反射镜应用前对扫描反射镜特性进行方便测量，识别扫描发射镜性能好坏。
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