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公开(公告)号：CN117949801A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202211351801.3
申请日：2022-10-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G01R31/265 , H01L21/66 , H01L23/544
Abstract: 本发明提供一种标记检测系统及半导体设备，用于检测待测标记的位置，标记检测系统包括包括照明单元、成像前组、剪切光栅、成像后组及探测单元，照明单元发射光束经待测标记形成衍射光束，衍射光束被成像前组会聚至剪切光栅产生横向剪切，衍射光束被横向剪切后经成像后组在探测单元上形成横向干涉图案，利用横向干涉图案获得待测标记的位置信息。本发明中，不仅可通过待测标记的透过率(反射率)差异或相位差异获得其位置信息，还对两者均具有较高的灵敏度，并且所获得的横向干涉图案还直接包括待测标记的差分干涉信息，有利于提高获得位置信息的处理效率。
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公开(公告)号：CN107331643B
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201610285723.X
申请日：2016-04-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H01L21/68
Abstract: 本发明提供了一种对准装置及其方法，所述对准装置包括：光源、照明组件、光转向组件、成像组件及探测器；所述光源发出的光束经过所述照明组件之后被所述光转向组件分为第一光束与第二光束，第一光束射入至上硅片，第二光束入射至下硅片，被上硅片与下硅片反射之后分别经过光转向组件及成像组件，将上硅片与下硅片上的对准标记成像于所述探测器上，通过移动下硅片使得两个对准标记在探测器上所成像相对称，达到对准上硅片与下硅片的目的，降低了对准成本，提高了效率，并消除了探测器热漂移引起的测量误差，方便校准并降低了校准的频率。
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公开(公告)号：CN107450272B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201610379169.1
申请日：2016-05-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种离轴照明装置，采用离轴照明方式，可以调整照明光的入射角度和偏振态，满足不同方向对准标记的照明需求，特别是在光栅周期达波长量级时，照明光的偏振对衍射效率的影响变得明显，并且装置结构简单易于加工实现，整个系统能量利用率高，此外，还可以处理对准测量中的非对称误差。
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公开(公告)号：CN106569392B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201510647162.9
申请日：2015-10-08
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种光刻装置和方法，在照明系统与掩膜板之间增设照明切换机构，在对准时，将照明切换机构中的照明光机结构放置于照明系统下方，将照明光经过衰减后输出并被分光后只照射对准标记，并与基准标记对准；在曝光时，将照明切换机构中的遮光板放置于照明系统下方，使得照明光只照射掩膜板上曝光图形区域，避免曝光后在硅片上留下对准标记的图形。此外采用几种视场共有叠加区域的边长作为照明光机结构入光孔径的最大边长，保证了在不同视场下，不会因为光线过于杂散导致照射至掩膜板非曝光图形区域。因此本发明使得对准与曝光均采用同一照明光源，且能够兼容不同视场大小的工艺需求，达到减少工时、人力、节约成本的目的。
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公开(公告)号：CN107342239A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201610285781.2
申请日：2016-04-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明一种对准测量装置和一种对准系统及方法，在成像透镜与探测装置之间设置了微透镜阵列，调整微透镜阵列即可使不同焦距处的测量对象的光线到达探测装置探测面的不同位置上，这样在信号探测装置上可以形成位于不同景深的测量对象的图像，将这些不同景深的测量对象的图像经过运算单元运算后即可得到不同景深的测量对象所在的位置，该位置包括水平坐标和垂直坐标，这样在对准系统中，可使用控制系统根据运算得到的测量对象所在的位置控制移动平台移动，使得所有的测量对象对准。该装置和方法能够只需成像一次即可计算得到不同景深测量对象所在的位置，无需多次扫描成像，因此操作简单方便，省时省力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117367286A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202210771654.9
申请日：2022-06-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供一种光栅位移测量装置，包括：光束发射单元，用于产生频率不同的第一光束和第二光束；光束整形单元，包括渥拉斯顿棱镜和非偏振分光棱镜；光栅；信号接收单元，包括第一探测器和第二探测器；第一光束和第二光束经渥拉斯顿棱镜入射至非偏振分光棱镜，经渥拉斯顿棱镜后的第一光束与第二光束偏振正交且存在分离角度；一部分第一光束和第二光束经非偏振分光棱镜转折后回射至渥拉斯顿棱镜，合束后形成为参考光传送至第一探测器；另一部分第一光束和第二光束入射至光栅，并经光栅衍射后形成为测量光传送至第二探测器，以根据探测的参考光和测量光计算光栅在水平向的位移。本发明的技术方案能够提高测量重复性，保证光栅位移测量的准确性。
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公开(公告)号：CN110967570B
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN201811163136.9
申请日：2018-09-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种探针卡、自动光学检测装置及方法。其中，探针卡，用于一基底，基底包括基材和位于基材上的多行显示屏，每行显示屏包括至少一个显示屏，每个显示屏包括至少一个电源电极，该探针卡包括：基板，基板上开设有多个列向平行排列的检测窗口，每个检测窗口容纳至少一行显示屏；多个针脚，每个检测窗口均露出针脚，且每个检测窗口中的针脚的位置对应于一行显示屏的电源电极的位置，针脚用于在探针卡与基底对准后，与位于检测窗口中的一行显示屏对应位置处的电源电极电接触，以为显示屏提供检测电源。本发明提高了对显示屏的检测效率。
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公开(公告)号：CN112596250A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011522644.9
申请日：2020-12-21
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种流式细胞分选仪的照明系统和流式细胞分选仪，其中，所述流式细胞分选仪的照明系统包括光源单元和光束整形单元，所述光束整形单元位于所述光源单元的出射光线的传播路径上；所述光束整形单元包括柱面非球面透镜组，所述柱面非球面透镜组包括第一圆锥面和第二圆锥面；所述第一圆锥面具备第一光焦度所述第二圆锥面具备第二光焦度其中采用上述技术方案，通过设置柱面非球面透镜组包括两个圆锥面，且通过合理设置两个圆锥面的光焦度可以保证光源单元发出的光束经光束整形单元后得到平顶椭圆光束，且平顶椭圆光束的光斑面积较大，保证细胞或微粒检测精确度高；同时可以保证出射激光的能量利用率较高。
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公开(公告)号：CN112098421A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010970259.4
申请日：2020-09-15
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明提供了一种暗场检测装置，所述暗场检测装置包括照明模块、光路整形模块、物镜和成像传感器，所述光路整形模块包括用于在晶片上形成重叠的线形照明光斑的多个分支光路；每一所述分支光路均用于以一定的入射角度照射所述晶片，所述多个分支光路形成环形照射；每一所述分支光路均包括匀光结构和临界照明结构，所述光源提供的光依次经所述匀光结构和临界照明结构照射至所述晶片上。本发明可以有效提高照明均匀性，同时也可以使得照明功率密度得以提升，杂散光得到很好的抑制，从而有利于线扫产率的提升，避免出现照明光斑颗粒状分布，更加有利于缺陷(颗粒、标记边缘)的检出。
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公开(公告)号：CN107342239B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201610285781.2
申请日：2016-04-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明一种对准测量装置和一种对准系统及方法，在成像透镜与探测装置之间设置了微透镜阵列，调整微透镜阵列即可使不同焦距处的测量对象的光线到达探测装置探测面的不同位置上，这样在信号探测装置上可以形成位于不同景深的测量对象的图像，将这些不同景深的测量对象的图像经过运算单元运算后即可得到不同景深的测量对象所在的位置，该位置包括水平坐标和垂直坐标，这样在对准系统中，可使用控制系统根据运算得到的测量对象所在的位置控制移动平台移动，使得所有的测量对象对准。该装置和方法能够只需成像一次即可计算得到不同景深测量对象所在的位置，无需多次扫描成像，因此操作简单方便，省时省力。
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