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公开(公告)号：CN101813451A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN201010136213.9
申请日：2010-03-30
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B7/00
Abstract: 本发明为一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头，由网格状多方孔基座和多个测头组件构成。测头组件包括测头、测杆、悬挂结构、传感单元和电路板，测头组件垂直凸出安装在基座方孔上，方孔在基座上呈网格状阵列式排列，阵列式测头通过基座与三维高精度位移平台的测头连接结构相联接。根据被测工件尺寸，在网格状多方孔基座上选择合适的方孔安装各测头组件，各测头组件可装可拆。各测头组件的测头通过校准整合到统一坐标系中，先用一个测头接触被测尺寸的一个端点，将此测头移开，再用另外的一个测头接触被测尺寸的另一个端点，可快速完成被测工件尺寸的精确测量。与单测头相比，提高了工作效率，并增加了冗余设计。本发明用于微纳米几何量测量领域。
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