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公开(公告)号：CN111474633B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202010453801.9
申请日：2020-05-26
Applicant: 上海工程技术大学
IPC: G02B6/35
Abstract: 本发明公开了一种电磁式双反射镜MEMS光开关，包括支撑框架，支撑框架的顶部和底部分别设有顶部平面驱动线圈和底部平面驱动线圈，顶部平面驱动线圈和底部平面驱动线圈的中心部位分别设有顶部坡莫合金铁芯和底部坡莫合金铁芯，支撑框架的中部的内壁连接有左双悬臂梁和右双悬臂梁，左双悬臂梁和右双悬臂梁之间连接有具有磁性的弹性平台，弹性平台的顶部和底部的中心部位分别设有上光反射微镜和下光反射微镜，弹性平台上水平穿设有中央通孔。本发明的电磁式双反射镜MEMS光开关，通过底部平面驱动线圈和顶部平面驱动线圈产生的电磁力吸引弹性平台发生上下位移，从而完成三条光路切换，具有响应快速且稳定、集成能力好的特点。
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公开(公告)号：CN111474805B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202010453233.2
申请日：2020-05-26
Applicant: 上海工程技术大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS镜头驱动器，包括顶部开口的支撑框架，支撑框架的内部底部的中心部位设有永磁体，支撑框架的内部上部同轴设有镜头支撑架，镜头支撑架和支撑框架之间连接有弹簧，镜头支撑架的上部中心部位设有光学镜头，镜头支撑架的顶面设有驱动线圈组件，驱动线圈组件包括两个横向驱动线圈、两个纵向驱动线圈以及环形驱动线圈，环形驱动线圈沿圆周方向环设于光学镜头外部。本发明的MEMS镜头驱动器，以电磁驱动作为驱动方式，可实现光学镜头X、Y、Z三轴方向的防抖，可以更好地调整光学镜头位置，实现光学镜头的对焦和收集图像的功能，防抖动响应时间短、成本低廉、驱动电压低、驱动位移大、防抖防摔防震、结构简单、使用方便。
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公开(公告)号：CN111474633A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010453801.9
申请日：2020-05-26
Applicant: 上海工程技术大学
IPC: G02B6/35
Abstract: 本发明公开了一种电磁式双反射镜MEMS光开关，包括支撑框架，支撑框架的顶部和底部分别设有顶部平面驱动线圈和底部平面驱动线圈，顶部平面驱动线圈和底部平面驱动线圈的中心部位分别设有顶部坡莫合金铁芯和底部坡莫合金铁芯，支撑框架的中部的内壁连接有左双悬臂梁和右双悬臂梁，左双悬臂梁和右双悬臂梁之间连接有具有磁性的弹性平台，弹性平台的顶部和底部的中心部位分别设有上光反射微镜和下光反射微镜，弹性平台上水平穿设有中央通孔。本发明的电磁式双反射镜MEMS光开关，通过底部平面驱动线圈和顶部平面驱动线圈产生的电磁力吸引弹性平台发生上下位移，从而完成三条光路切换，具有响应快速且稳定、集成能力好的特点。
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公开(公告)号：CN113187700A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110425677.X
申请日：2021-04-20
Applicant: 上海工程技术大学
Abstract: 本发明涉及一种电磁驱动的MEMS微泵装置，属于微流控制系统技术领域，包括固定环、永磁体、泵腔盖、泵体、膜片Ⅰ、基座、电磁线圈和膜片Ⅱ；其中泵腔盖中间开有安装孔；泵体中间有一圆形凹陷作为泵腔，泵腔内开设有进液大孔和出液小孔，膜片Ⅰ靠近中间部分为悬臂梁Ⅰ和悬臂梁Ⅱ；基座正面两端分别设有对称的连接柱，靠近中间部分开设有出液大孔，进液小孔，底面中央开有一沉头孔，沉头孔中嵌有与电源连接的电磁线圈；泵腔盖、泵体和膜片Ⅰ的两端均开有对称且位置与连接柱对应的连接孔；永磁体为圆柱体，一端穿过安装孔与固定环连接固定，另一端与膜片Ⅱ连接后伸入泵腔，膜片Ⅱ为大小与泵腔一致的圆片。本发明结构简单，便于集成化。
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公开(公告)号：CN111474805A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010453233.2
申请日：2020-05-26
Applicant: 上海工程技术大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS镜头驱动器，包括顶部开口的支撑框架，支撑框架的内部底部的中心部位设有永磁体，支撑框架的内部上部同轴设有镜头支撑架，镜头支撑架和支撑框架之间连接有弹簧，镜头支撑架的上部中心部位设有光学镜头，镜头支撑架的顶面设有驱动线圈组件，驱动线圈组件包括两个横向驱动线圈、两个纵向驱动线圈以及环形驱动线圈，环形驱动线圈沿圆周方向环设于光学镜头外部。本发明的MEMS镜头驱动器，以电磁驱动作为驱动方式，可实现光学镜头X、Y、Z三轴方向的防抖，可以更好地调整光学镜头位置，实现光学镜头的对焦和收集图像的功能，防抖动响应时间短、成本低廉、驱动电压低、驱动位移大、防抖防摔防震、结构简单、使用方便。
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