公开(公告)号：CN119378044B

公开(公告)日：2025-03-14

申请号：CN202510000205.8

申请日：2025-01-02

Applicant: 上海大学

Inventor： 甄强 ,  张顺琦 ,  刘伸 ,  凌春燕 ,  钱沈云 ,  尤慧雯

IPC: G06F30/10 ,  H05B3/14 ,  H05B3/20 ,  G06F30/20 ,  G06F119/08

Abstract: 本申请公开了一种半导体陶瓷加热器及其设计方法，涉及半导体陶瓷加热器领域。该方法包括建立半导体陶瓷加热器每圈加热丝的长度表达式，从而确定每圈加热丝产生的热量表达式；热量表达式与每圈加热丝半径和升高到目标温度所需热量有关；建立加热丝将陶瓷圆盘分割的每个区域的面积表达式；面积表达式与每圈加热丝半径有关；根据面积表达式和热量表达式确定每个区域分配到的热量模型；根据面积表达式和每个区域的目标温度确定每个区域的辐射散热量模型；结合热量模型和辐射散热量模型，求解得到每圈加热丝半径和升高到目标温度所需热量。本申请能简化半导体陶瓷加热器设计流程，并提高半导体陶瓷加热器温度均匀性。

公开(公告)号：CN119378044A

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN202510000205.8

申请日：2025-01-02

Applicant: 上海大学

Inventor： 甄强 ,  张顺琦 ,  刘伸 ,  凌春燕 ,  钱沈云 ,  尤慧雯

IPC: G06F30/10 ,  H05B3/14 ,  H05B3/20 ,  G06F30/20 ,  G06F119/08

Abstract: 本申请公开了一种半导体陶瓷加热器及其设计方法，涉及半导体陶瓷加热器领域。该方法包括建立半导体陶瓷加热器每圈加热丝的长度表达式，从而确定每圈加热丝产生的热量表达式；热量表达式与每圈加热丝半径和升高到目标温度所需热量有关；建立加热丝将陶瓷圆盘分割的每个区域的面积表达式；面积表达式与每圈加热丝半径有关；根据面积表达式和热量表达式确定每个区域分配到的热量模型；根据面积表达式和每个区域的目标温度确定每个区域的辐射散热量模型；结合热量模型和辐射散热量模型，求解得到每圈加热丝半径和升高到目标温度所需热量。本申请能简化半导体陶瓷加热器设计流程，并提高半导体陶瓷加热器温度均匀性。