公开(公告)号：CN117677256A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202311662742.6

申请日：2023-12-06

Applicant: 上海大学

Inventor： 徐飞 ,  舒鑫 ,  鹿颖申 ,  张子发 ,  袁翔 ,  洪峰 ,  徐闰 ,  陈腾 ,  马忠权

IPC: H10K71/12 ,  H10K71/40 ,  H10K30/60

Abstract: 本发明涉及一种X射线探测器，具体涉及一种叠加喷涂工艺制备钙钛矿厚膜的方法以及一种直接式X射线探测器，包括如下步骤：采用气动喷涂法通过叠加喷涂工艺在衬底上形成钙钛矿厚膜；叠加喷涂工艺：一次喷涂：衬底喷涂前驱液，形成膜厚不超过30μm，表面活化处理；二次喷涂：在上次喷涂的表面喷涂前驱液，形成膜厚不超过30μm，表面活化处理；实施二次喷涂至少一次至总厚度达目标厚度。与现有技术相比，本发明解决气动喷涂法的厚膜不呈线性增长且质量差的问题，实现表面形貌致密、结晶度高的(100)择优生长的钙钛矿厚膜制备，实现了2670μC·Gyair‑1·cm‑2的高灵敏度探测性能，是α‑Se商用X射线探测器的133倍。