太赫兹波段偏振片及其制作方法

    公开(公告)号:CN101702042A

    公开(公告)日:2010-05-05

    申请号:CN200910198202.0

    申请日:2009-11-03

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种太赫兹波段偏振片及其制作方法。本偏振片由基片和基片上的金属薄膜组成,金属薄膜上有周期性金属金属刻槽形成金属线条。本方法利用物理或化学的方法在基片上镀膜,利用脉冲激光对金属薄膜刻蚀。本偏振片的波段处于微波和红外波之间,本偏振片在频率0.1THz~1.6THz的范围消光比都小于10%。本发明的制作方法中,采用激光离焦的方法对金属薄膜进行刻蚀,只需通过控制激光焦点到金属表面的距离来控制刻蚀线条的宽度。

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