公开(公告)号：CN1648688A

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：CN200510023578.X

申请日：2005-01-26

Applicant: 上海大学

Inventor： 桑文斌 ,  王昆黍 ,  闵嘉华 ,  张奇 ,  腾建勇 ,  钱永彪

IPC: G01T1/24 ,  H01L31/00

Abstract: 本发明涉及一种共面栅阳极碲锌镉探测器的制备方法，属半导体晶体核探测器制造工艺技术领域。该探测器是由碲锌镉晶体及其阳极和阴极组成，该探测器的制备方法具有以下步骤：先将切割好的、晶面方向为(111)定向的、具有一定尺寸的碲锌镉晶片进行粗抛，细抛，表面化学腐蚀，清洗各工序的表面处理，然后制成电极：电极的制备采用真空蒸发沉积电极，利用光刻技术得到两组共平面交叉指形的微条形阳极，阴极为完整的平面电极，两组阳极和一个阴极均有金丝引线引出；沉积的电极为铬金合金复合电极；最后将未沉积电极镀层的晶片表面进行钝化，最终制得共面栅阳极碲锌镉探测器。本发明方法制得的探测器具有较优的射线能量分辨率。

公开(公告)号：CN1328598C

公开(公告)日：2007-07-25

申请号：CN200510023578.X

申请日：2005-01-26

Applicant: 上海大学

Inventor： 桑文斌 ,  王昆黍 ,  闵嘉华 ,  张奇 ,  腾建勇 ,  钱永彪

IPC: G01T1/24 ,  B24C1/08 ,  C23C22/64 ,  H01L21/47

Abstract: 本发明涉及一种共面栅阳极碲锌镉探测器的制备方法，属半导体晶体核探测器制造工艺技术领域。该探测器是由碲锌镉晶体及其阳极和阴极组成，该探测器的制备方法具有以下步骤：先将切割好的、晶面方向为(111)定向的、具有一定尺寸的碲锌镉晶片进行粗抛，细抛，表面化学腐蚀，清洗各工序的表面处理，然后制成电极：电极的制备采用真空蒸发沉积电极，利用光刻技术得到两组共平面交叉指形的微条形阳极，阴极为完整的平面电极，两组阳极和一个阴极均有金丝引线引出；沉积的电极为铬金合金复合电极；最后将未沉积电极镀层的晶片表面进行钝化，最终制得共面栅阳极碲锌镉探测器。本发明方法制得的探测器具有较优的射线能量分辨率。