公开(公告)号：CN111826639A

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN202010706153.3

申请日：2020-07-21

Applicant: 上海大学

Inventor： 王浩 ,  翟健 ,  陆文慧 ,  蹇婕

IPC: C23C18/12

Abstract: 本申请涉及一种掺杂Sr的铁电薄膜及其制备方法。其中，掺杂Sr的铁电薄膜的制备方法包括如下步骤：LaNiO3(LNO)溶胶制备:采用溶胶凝胶法，制备出0.1mol/L的LaNiO3溶胶；BF-PST溶胶制备:采用溶胶凝胶法，制备出0.4mol/L的BF-PST溶胶；LNO缓冲层的制备：采用旋涂法，使用匀胶机将LNO溶胶旋涂在热处理后的不锈钢衬底上，之后把薄膜置于马弗炉内热处理，得到LNO薄膜；BF-PST薄膜的制备：采用旋涂法，使用匀胶机将BF-PST溶胶旋涂在热处理后的不锈钢衬底上，之后把薄膜置于马弗炉内热处理，得到BF-PST薄膜；所述BF-PST薄膜的化学式为0.7BiFeO3-0.3Pb1-xSrxTiO3。与传统BF-PT薄膜相比，所制得的BF-PST薄膜晶化程度更高。

公开(公告)号：CN113121223A

公开(公告)日：2021-07-16

申请号：CN202110535605.0

申请日：2021-05-17

Applicant: 上海大学

Inventor： 程晋荣 ,  翟健 ,  陆文慧 ,  陈建国

IPC: C04B35/491 ,  C04B35/622 ,  C04B35/624

Abstract: 本申请公开了一种柔性钇钡铜氧/哈氏合金衬底上PLZT铁电薄膜及其制备方法，其中PLZT铁电薄膜的化学式为：Pb1‑xLax(ZryTi1‑y)O3，制备方法包括如下步骤：a.将三水合乙酸铅(Pb(CH3COO)2·3H2O)、硝酸镧(La(NO3)3)、钛酸四正丁酯(Ti(OC4H9)4)和正丙醇锆(Zr(OC3H7)4)按照化学计量比称量，溶解于乙二醇甲醚(2‑MOE)之中；b.将步骤a所得的混合液加入去离子水和乙酸，得到PLZT溶胶；c.将所述PLZT溶胶旋涂在热处理后的钇钡铜氧/哈氏合金衬底上，得到湿膜；d.将步骤c所得湿膜置于烘胶台上干燥，随后进行热处理，得到PLZT铁电薄膜。本申请提供的PLZT/钇钡铜氧/哈氏合金多层铁电薄膜介电、铁电性能优异，具有较强的形变能力，在柔性电子领域具有优异的应用前景。