公开(公告)号：CN108732846A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810486748.5

申请日：2018-05-18

Applicant: 上海大学

Inventor： 杨光 ,  曹琎 ,  何晓燕 ,  王多金 ,  刘斌 ,  陈宏飞 ,  高彦峰

IPC: G02F1/35 ,  G02F1/355 ,  G02F1/37

Abstract: 本发明公开了一种采用网格电极热极化制备具有周期性显微二阶非线性极化率光学元件的制备方法，以表面涂覆了银线的钠钙硅玻璃作为盖玻片，Ni网格作阳极，硅片作阴极，对钠钙硅玻璃进行显微热极化处理，利用周期性电场和热场方法可实现多种微米级显微结构的光学元件。本发明能通过调整Ni网格尺寸和气氛、电压、温度及时间热极化参数来达到控制样品的周期性与形貌。本发明方法能一次实现具有周期性显微二阶非线性极化率的光学元件，实现图案分辨率可达微米甚至纳米级水平，相对传统材料制备效率可提高数倍至数十倍，微结构分布与尺寸的形貌和原子或分子结构的成份可控，制备效率高。

公开(公告)号：CN108681181B

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201810477666.4

申请日：2018-05-18

Applicant: 上海大学

Inventor： 杨光 ,  曹琎 ,  何晓燕 ,  王多金 ,  陈宏飞 ,  刘斌 ,  高彦峰

IPC: G02F1/35 ,  G02F1/355 ,  G02F1/37

Abstract: 本发明公开了一种显微二阶非线性极化率光学元件的激光辅助热极化设备及方法，以单面和侧面涂覆了薄银线的ITO玻璃作阳极，硅片作阴极，波长为1064nm的连续激光，对掺杂Sm3+离子的硼磷酸铌玻璃进行显微热极化的制备方法。该电场、热场及激光光场辅助方法可实现多种微米级显微结构的光学元件。可以通过调整激光参数和热极化参数来达到控制样品的周期性与形貌。本发明方法能一次实现具有周期性显微二阶非线性极化率的光学元件，实现图案分辨率可达微米甚至纳米级水平，相对传统材料制备效率可提高数倍至数十倍，微结构分布与尺寸的形貌和原子或分子结构的成份可控，制备效率高。

公开(公告)号：CN109023300A

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201811037999.1

申请日：2018-09-06

Applicant: 上海大学

Inventor： 刘斌 ,  朱昌华 ,  王多金 ,  杨光 ,  陈宏飞 ,  高彦峰

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/48

Abstract: 本发明涉及具有类柱状晶的锆酸钆薄膜及其制备方法，所述锆酸钆薄膜的形貌为类柱状晶，所述锆酸钆薄膜中钆与锆原子比为（0.19～1.72）：1。

公开(公告)号：CN109270613B

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN201811029956.9

申请日：2018-09-05

Applicant: 上海大学

Inventor： 杨光 ,  曹琎 ,  王多金 ,  何晓燕 ,  刘斌 ,  陈宏飞 ,  高彦峰

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种采用网格电极显微热极化工艺制备可见‑红外衍射光栅的制备方法，所用材料主要包括以表面涂覆了硅片作为盖玻片，采用材料为Cu、Ni、Ag或Au金属的网格作阳极，以硅片作阴极，对硫系玻璃进行显微热极化处理，采用周期性电场和热场方法，可实现多种微米级显微结构的衍射光栅的印刷，可通过调整金属网格尺寸和热极化参数中的气氛、电压、温度及时间，来达到控制样品的周期性与形貌，本发明方法相对传统材料制备效率可提高数倍至数十倍，能一次性将所需图案印刷在光学材料样品上，实现图案分辨率可达微米甚至纳米级水平，微结构分布与尺寸的形貌和原子或分子结构的成份可控，制备效率高。

公开(公告)号：CN108732846B

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN201810486748.5

申请日：2018-05-18

Applicant: 上海大学

Inventor： 杨光 ,  曹琎 ,  何晓燕 ,  王多金 ,  刘斌 ,  陈宏飞 ,  高彦峰

IPC: G02F1/35 ,  G02F1/355 ,  G02F1/37

Abstract: 本发明公开了一种采用网格电极热极化制备具有周期性显微二阶非线性极化率光学元件的制备方法，以表面涂覆了银线的钠钙硅玻璃作为盖玻片，Ni网格作阳极，硅片作阴极，对钠钙硅玻璃进行显微热极化处理，利用周期性电场和热场方法可实现多种微米级显微结构的光学元件。本发明能通过调整Ni网格尺寸和气氛、电压、温度及时间热极化参数来达到控制样品的周期性与形貌。本发明方法能一次实现具有周期性显微二阶非线性极化率的光学元件，实现图案分辨率可达微米甚至纳米级水平，相对传统材料制备效率可提高数倍至数十倍，微结构分布与尺寸的形貌和原子或分子结构的成份可控，制备效率高。

公开(公告)号：CN109270613A

公开(公告)日：2019-01-25

申请号：CN201811029956.9

申请日：2018-09-05

Applicant: 上海大学

Inventor： 杨光 ,  曹琎 ,  王多金 ,  何晓燕 ,  刘斌 ,  陈宏飞 ,  高彦峰

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种采用网格电极显微热极化工艺制备可见-红外衍射光栅的制备方法，所用材料主要包括以表面涂覆了硅片作为盖玻片，采用材料为Cu、Ni、Ag或Au金属的网格作阳极，以硅片作阴极，对硫系玻璃进行显微热极化处理，采用周期性电场和热场方法，可实现多种微米级显微结构的衍射光栅的印刷，可通过调整金属网格尺寸和热极化参数中的气氛、电压、温度及时间，来达到控制样品的周期性与形貌，本发明方法相对传统材料制备效率可提高数倍至数十倍，能一次性将所需图案印刷在光学材料样品上，实现图案分辨率可达微米甚至纳米级水平，微结构分布与尺寸的形貌和原子或分子结构的成份可控，制备效率高。

公开(公告)号：CN109023300B

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201811037999.1

申请日：2018-09-06

Applicant: 上海大学

Inventor： 刘斌 ,  朱昌华 ,  王多金 ,  杨光 ,  陈宏飞 ,  高彦峰

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/48

Abstract: 本发明涉及具有类柱状晶的锆酸钆薄膜及其制备方法，所述锆酸钆薄膜的形貌为类柱状晶，所述锆酸钆薄膜中钆与锆原子比为（0.19～1.72）：1。

公开(公告)号：CN108681181A

公开(公告)日：2018-10-19

申请号：CN201810477666.4

申请日：2018-05-18

Applicant: 上海大学

Inventor： 杨光 ,  曹琎 ,  何晓燕 ,  王多金 ,  陈宏飞 ,  刘斌 ,  高彦峰

IPC: G02F1/35 ,  G02F1/355 ,  G02F1/37

Abstract: 本发明公开了一种显微二阶非线性极化率光学元件的激光辅助热极化设备及方法，以单面和侧面涂覆了薄银线的ITO玻璃作阳极，硅片作阴极，波长为1064nm的连续激光，对掺杂Sm3+离子的硼磷酸铌玻璃进行显微热极化的制备方法。该电场、热场及激光光场辅助方法可实现多种微米级显微结构的光学元件。可以通过调整激光参数和热极化参数来达到控制样品的周期性与形貌。本发明方法能一次实现具有周期性显微二阶非线性极化率的光学元件，实现图案分辨率可达微米甚至纳米级水平，相对传统材料制备效率可提高数倍至数十倍，微结构分布与尺寸的形貌和原子或分子结构的成份可控，制备效率高。