公开(公告)号：CN109023300B

公开(公告)日：2020-07-17

申请号：CN201811037999.1

申请日：2018-09-06

Applicant: 上海大学

Inventor： 刘斌 ,  朱昌华 ,  王多金 ,  杨光 ,  陈宏飞 ,  高彦峰

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/48

Abstract: 本发明涉及具有类柱状晶的锆酸钆薄膜及其制备方法，所述锆酸钆薄膜的形貌为类柱状晶，所述锆酸钆薄膜中钆与锆原子比为（0.19～1.72）：1。

公开(公告)号：CN109023300A

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201811037999.1

申请日：2018-09-06

Applicant: 上海大学

Inventor： 刘斌 ,  朱昌华 ,  王多金 ,  杨光 ,  陈宏飞 ,  高彦峰

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/48

Abstract: 本发明涉及具有类柱状晶的锆酸钆薄膜及其制备方法，所述锆酸钆薄膜的形貌为类柱状晶，所述锆酸钆薄膜中钆与锆原子比为（0.19～1.72）：1。