公开(公告)号：CN102661977B

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201210167041.0

申请日：2012-05-28

Applicant: 上海大学

Inventor： 徐甲强 ,  张飞虎 ,  赵宏滨 ,  段智明 ,  向群

IPC: G01N27/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及一种苯蒸气检测传感器敏感材料及气敏元件的制备方法，属功能材料、传感技术与环境监测技术领域。本发明以溶胶凝胶法制得的SnO2与商用V2O5固相反应制得的复合材料作为敏感材料来检测苯蒸气；将涂覆SnO2/V2O5纳米复合材料的气敏元件经500℃煅烧，按厚膜式半导体气敏元件制作工艺对气敏元件进行焊接，即四角电极引线铂丝的焊接；干燥后，老化、封装，便制得苯蒸气检测传感器气敏元件。制得的气敏元件对苯蒸气的检测具有高灵敏度、高选择性、低功耗等优点，可用于检测大气或室内环境中的苯蒸气和甲苯蒸气。

公开(公告)号：CN102661977A

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：CN201210167041.0

申请日：2012-05-28

Applicant: 上海大学

Inventor： 徐甲强 ,  张飞虎 ,  赵宏滨 ,  段智明 ,  向群

IPC: G01N27/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及一种苯蒸气检测传感器敏感材料及气敏元件的制备方法，属功能材料、传感技术与环境监测技术领域。本发明以溶胶凝胶法制得的SnO2与商用V2O5固相反应制得的复合材料作为敏感材料来检测苯蒸气；将涂覆SnO2/V2O5纳米复合材料的气敏元件经500℃煅烧，按厚膜式半导体气敏元件制作工艺对气敏元件进行焊接，即四角电极引线铂丝的焊接；干燥后，老化、封装，便制得苯蒸气检测传感器气敏元件。制得的气敏元件对苯蒸气的检测具有高灵敏度、高选择性、低功耗等优点，可用于检测大气或室内环境中的苯蒸气和甲苯蒸气。