公开(公告)号：CN117289560B

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202311459221.0

申请日：2023-11-03

Applicant: 上海大学

Inventor： 陆泽琦 ,  郝荣彪 ,  张远索 ,  杨仲普 ,  赵龙 ,  丁虎 ,  陈立群

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开一种多方向低频超稳作动器，涉及隔振领域，包括基础板、承载板、连接机构和两个相对于Y轴对称设置于基础板上的执行机构，支腿下部的两端均通过并联布置的一个高静低动弹簧阻尼件和一个竖向执行器与基础板连接，支腿上部的两端均设置有一个传感部件；侧向支撑座的两侧与第一凹槽之间均并联布置有一个水平执行器和一个弹性部件，支腿内侧设置有与水平执行器一一对应的传感部件；连接机构连接两个支腿，承载板的两端分别安装于两个支腿的上部，竖向执行器和水平执行器用于驱动承载板进行六自由度作动。该多方向低频超稳作动器在实现六自由度超低频作动的同时，保证了系统的稳定性、可靠性以及鲁棒性。

公开(公告)号：CN117289560A

公开(公告)日：2023-12-26

申请号：CN202311459221.0

申请日：2023-11-03

Applicant: 上海大学

Inventor： 陆泽琦 ,  郝荣彪 ,  张远索 ,  杨仲普 ,  赵龙 ,  丁虎 ,  陈立群

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开一种多方向低频超稳作动器，涉及隔振领域，包括基础板、承载板、连接机构和两个相对于Y轴对称设置于基础板上的执行机构，支腿下部的两端均通过并联布置的一个高静低动弹簧阻尼件和一个竖向执行器与基础板连接，支腿上部的两端均设置有一个传感部件；侧向支撑座的两侧与第一凹槽之间均并联布置有一个水平执行器和一个弹性部件，支腿内侧设置有与水平执行器一一对应的传感部件；连接机构连接两个支腿，承载板的两端分别安装于两个支腿的上部，竖向执行器和水平执行器用于驱动承载板进行六自由度作动。该多方向低频超稳作动器在实现六自由度超低频作动的同时，保证了系统的稳定性、可靠性以及鲁棒性。