公开(公告)号：CN118053624A

公开(公告)日：2024-05-17

申请号：CN202410305496.7

申请日：2024-03-18

Applicant: 上海大学

Inventor： 田清文 ,  原蒲升 ,  李凌云 ,  汪书娜 ,  尤立星

IPC: H01B12/02 ,  H01B13/00

Abstract: 本发明涉及低温互联领域，具体公开了一种基于YBCO带材超导带传输线的制备工艺，包括以下步骤：步骤一、提供YBCO带材超导带，对YBCO带材超导带进行切割，其截面形成YBCO带材超导五层结构；步骤二、弯曲并剥离步骤一中切割好的YBCO带材获得带有铜、银的YBCO超导层；步骤三、利用化学试剂分别腐蚀去除步骤二中获得带有铜、银的YBCO超导层上的铜层与银层，得到两层超导薄膜；步骤四、对步骤三获得的两层超导薄膜进行微纳加工，获得共面波导传输线与微带线；本发明中采用激光切割法和化学腐蚀将YBCO超导层剥离，且剥离的YBCO超导层超导性能优异；同时基于YBCO的柔性高温超导传输线作为信号传输通道，不仅可以实现高频高速需求，还可以实现更高集成度。

公开(公告)号：CN117979814A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202410150049.9

申请日：2024-02-02

Applicant: 上海大学

Inventor： 李泰宇 ,  高波 ,  徐元星 ,  王超群 ,  唐丽红 ,  尤立星

IPC: H10N60/01

Abstract: 本发明公开了一种通过镓离子注入实现超导量子干涉器件制备的方法，主要涉及超导量子器件技术领域；包括步骤：S1、制作具有桥型约瑟夫森结结构的SQUID器件的版图文件；S2、根据SQUID器件的版图文件制备掩模版；S3、在衬底上进行涂胶操作，将预先制作的掩模版置于衬底上；S4、对衬底进行曝光工艺处理；S5、对曝光后的衬底进行显影处理；S6、对显影处理后的衬底进行刻蚀处理；S7、将Ga离子注入刻蚀处理后的衬底中；S8、对步骤S7中得到的器件进行灰化以及清洗，完成超导量子干涉器件的制作；本发明具有制备时间短、制备成本低、制备工艺要求低、制备风险低的优点。