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公开(公告)号：CN107043921A
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201710153419.4
申请日：2017-03-15
Applicant: 上海大学
CPC classification number: C23C16/26 , C23C16/0227 , C23C16/0272 , C23C16/0281
Abstract: 本发明提供一种类金刚石复合膜、其制备方法及及超声工具头。一种类金刚石复合膜，包括：金属层；过渡层，层叠于所述金属层的表面；类金刚石层，层叠于所述过渡层的表面；其中，所述过渡层的材料包括硅的碳化物及钛的碳化物。上述类金刚石复合膜抗空蚀能力较好。
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