一种点阵辅助对焦数字全息显微镜系统及全息重建方法

    公开(公告)号:CN119620574A

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202411890095.9

    申请日:2024-12-20

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种点阵辅助对焦数字全息显微镜系统及全息重建方法,该系统包括数字全息显微光路部分和点阵辅助对焦光路部分,数字全息显微光路部分采用偏振调制的窄带激光照射待测物体样品后成为物光,与参考镜反射的偏振正交的参考光在偏振相机中干涉成像,实现单幅图像的不同相移采集;点阵辅助对焦光路部分利用图像的清晰度计算待测物体样品的焦点位置,能直接得到数字全息重建过程中需要的最佳逆衍射距离。与现有技术相比,本发明具有提高了数字全息显微镜的自动聚焦效率,极大加快数字全息三维表面重建的速度,在保证重建测量精度的前提下提升了重建的效率和实时性等优点。

    一种基于阵列光斑点的三维形貌显微测量方法和显微装置

    公开(公告)号:CN119879769A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202411890093.X

    申请日:2024-12-20

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于阵列光斑点的三维形貌显微测量方法和显微装置,所述方法包括:显微装置从下到上按设定采样间隔进行扫描,以采集待测对象不同焦平面上的点阵图像;根据提前标定好的各光斑点的光心位置,采用高斯曲面函数拟合计算不同焦平面上光心位置处的亮度值;利用各光斑点在不同焦平面上光心处的亮度信息,采用洛伦茨函数拟合出各光斑点亮度值最大时所在的焦点位置,并计算出各光斑点的深度值,得到稀疏深度图;将稀疏深度图补全为稠密深度图,完成待测对象的三维形貌测量。与现有技术相比,本发明具有利用低成本结构简单的显微装置实现点阵图像采集,适用广范围的三维形貌显微测量等优点。

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