公开(公告)号：CN113970942A

公开(公告)日：2022-01-25

申请号：CN202010713927.5

申请日：2020-07-22

Applicant: 上海复旦微电子集团股份有限公司

Inventor： 王延政 ,  詹超 ,  石彬彬 ,  宫鹏鹏 ,  周培 ,  李智利 ,  朱殷

IPC: G05D23/22 ,  G01R1/04 ,  G01R31/00

Abstract: 本发明实施例提供一种控制老炼温度的方法、用于老炼测试的夹具、设备和系统。该方法包括：获取待测器件的温度测量值和设定值；基于温度测量值和设定值调节加热待测器件的控制参数。该控制老炼温度的方法可以通过本发明实施例提供的用于老炼测试的夹具、设备以及系统来实现。相较于现有技术，采用本发明实施例提供的技术方案，可实现老炼测试过程中单个待测器件的老炼温度的精确控制。

公开(公告)号：CN113970673A

公开(公告)日：2022-01-25

申请号：CN202010713926.0

申请日：2020-07-22

Applicant: 上海复旦微电子集团股份有限公司

Inventor： 王延政 ,  石彬彬 ,  宫鹏鹏 ,  卓成龙 ,  詹超 ,  朱殷 ,  李智利

IPC: G01R31/00

Abstract: 本发明实施例提供一种老炼测试的方法、老炼测试系统及配置终端。该老炼测试的方法，包括：S11，设置老炼参数的预定范围；S12，对待测器件启动老炼测试；S13，获取待测器件的老炼参数的实时值；S14，判断实时值是否在预定范围内，若是，则执行S20；S20，确定进入老炼测试的稳态阶段。与现有技术相比，采用本发明实施例提供的技术方案，可以获取待测器件在老炼测试过程中的老炼参数的实时值，并通过判断待测器件的老炼参数的实时值是否在相应的预定范围内来确定该待测器件是否进入老炼测试的稳定阶段，以实现对待测器件的老炼测试进行精确控制。