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公开(公告)号：CN113970942A
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202010713927.5
申请日：2020-07-22
Applicant: 上海复旦微电子集团股份有限公司
Abstract: 本发明实施例提供一种控制老炼温度的方法、用于老炼测试的夹具、设备和系统。该方法包括：获取待测器件的温度测量值和设定值；基于温度测量值和设定值调节加热待测器件的控制参数。该控制老炼温度的方法可以通过本发明实施例提供的用于老炼测试的夹具、设备以及系统来实现。相较于现有技术，采用本发明实施例提供的技术方案，可实现老炼测试过程中单个待测器件的老炼温度的精确控制。
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公开(公告)号：CN113967881A
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202010712495.6
申请日：2020-07-22
Applicant: 上海复旦微电子集团股份有限公司
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明实施例提供一种用于测试的夹具、设备及系统。该夹具包括夹盖、底座、温度采集单元和第一弹性件，夹盖和底座共同形成适于容纳待测器件、温度采集单元和第一弹性件的第一腔体，底座设置有适于与待测器件的管脚导电连接的探针，温度采集单元通过第一弹性件与夹盖连接并适于与待测器件抵接以采集待测器件的温度信号，第一弹性件适于在温度采集单元抵接于待测器件时被压缩以使得管脚与探针导电连接。由于，温度采集单元与夹盖弹性连接，可使得温度采集单元抵接于待测器件时在夹盖与温度采集单元之间、温度采集单元和待测器件之间以及待测器件的管脚与探针之间均产生相互作用力，从而确保了待测器件的管脚与探针之间具有良好的接触性以及导电性。
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公开(公告)号：CN113970672A
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202010712467.4
申请日：2020-07-22
Applicant: 上海复旦微电子集团股份有限公司
Abstract: 本发明实施例提供一种老炼测试设备，包括：具有多层第一平台的支架；可拆卸地设置于多层第一平台中的每一层第一平台的机箱，机箱由支架支撑；设置于机箱内的至少一个老炼插槽；其中，至少一个老炼插槽中的每一个老炼插槽均包括至少一个温区子模块，至少一个温区子模块中的每一个温区子模块均用于对待测器件进行老炼测试。与现有技术相比，本发明实施例提供的老炼测试设备具有敞开式的货架结构，将老炼负载板插入货架结构每一层的老炼插槽内即可实现对待测器件的老炼，待测器件数量不受传统烘箱的容积限制，极大地提高了单批次老炼测试中待测器件的数量和场地的利用率。
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公开(公告)号：CN113967881B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202010712495.6
申请日：2020-07-22
Applicant: 上海复旦微电子集团股份有限公司
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明实施例提供一种用于测试的夹具、设备及系统。该夹具包括夹盖、底座、温度采集单元和第一弹性件，夹盖和底座共同形成适于容纳待测器件、温度采集单元和第一弹性件的第一腔体，底座设置有适于与待测器件的管脚导电连接的探针，温度采集单元通过第一弹性件与夹盖连接并适于与待测器件抵接以采集待测器件的温度信号，第一弹性件适于在温度采集单元抵接于待测器件时被压缩以使得管脚与探针导电连接。由于，温度采集单元与夹盖弹性连接，可使得温度采集单元抵接于待测器件时在夹盖与温度采集单元之间、温度采集单元和待测器件之间以及待测器件的管脚与探针之间均产生相互作用力，从而确保了待测器件的管脚与探针之间具有良好的接触性以及导电性。
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