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公开(公告)号：CN1412862A
公开(公告)日：2003-04-23
申请号：CN02150784.8
申请日：2002-11-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0232 , H01L27/14 , G02B1/00 , G02B5/08
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种谐振腔增强的远红外探测器反射镜的制备方法属于光电探测器领域。方法步骤如下：选取与探测器材料相同的材料作为反射镜的材料；根据菲涅尔系数矩阵和德鲁得模型，通过数值计算得到没有谐振腔时探测器腔体内的光吸收率；用同样的方法计算谐振腔增强的探测器腔体内的光吸收率，并优化底部反射镜的结构和材料参数；根据优化得到的参数，通过分子束外延生长出谐振腔增强的探测器，并测量其反射和透射光谱，验证这种制备的可行性。本发明制备出的反射镜可以应用在远红外波段，并可以通过MBE生长，生长质量得到保证，使得探测器腔体内的光吸收率大大增强，从而提高了探测器的量子效率。
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公开(公告)号：CN1167136C
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN02150784.8
申请日：2002-11-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种谐振腔增强的远红外探测器反射镜的制备方法属于光电探测器领域。方法步骤如下：选取与探测器材料相同的材料作为反射镜的材料；根据菲涅尔系数矩阵和德鲁得模型，通过数值计算得到没有谐振腔时探测器腔体内的光吸收率；用同样的方法计算谐振腔增强的探测器腔体内的光吸收率，并优化底部反射镜的结构和材料参数；根据优化得到的参数，通过分子束外延生长出谐振腔增强的探测器，并测量其反射和透射光谱，验证这种制备的可行性。本发明制备出的反射镜可以应用在远红外波段，并可以通过MBE生长，生长质量得到保证，使得探测器腔体内的光吸收率大大增强，从而提高了探测器的量子效率。
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公开(公告)号：CN1412860A
公开(公告)日：2003-04-23
申请号：CN02150783.X
申请日：2002-11-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L31/0232 , G01J1/02
Abstract: 一种谐振腔增强的n型砷化镓远红外探测器的反射镜属于光电探测器领域。本发明提供了一种采用分子束外延生长制备的远红外探测器的反射镜。顶部反射镜由探测器与空气形成的界面形成。底部反射镜由底部电极层和它下面的多周期的非掺杂/掺杂的砷化镓层共同组成，本发明具有实质性特点和显著进步，可以通过分子束外延生长制备，具有很好的样品质量，可以应用到远红外波段，而且大大提供探测器的量子效率。
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公开(公告)号：CN1169229C
公开(公告)日：2004-09-29
申请号：CN02150783.X
申请日：2002-11-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L31/0232 , H01L33/00
Abstract: 一种谐振腔增强的n型砷化镓远红外探测器的反射镜属于光电探测器领域。本发明提供了一种采用分子束外延生长制备的远红外探测器的反射镜。顶部反射镜由探测器与空气形成的界面形成。底部反射镜由底部电极层和它下面的多周期的非掺杂/掺杂的砷化镓层共同组成，反射镜底部电极层(1)的厚度为3000A，浓度为2×1018cm-3，底部掺杂(3)的n型砷化镓的厚度为1.8μm，浓度为3×1018cm-3，非掺杂的n型砷化镓(2)层的厚度为1.45μm，非掺杂(2)/掺杂(3)的砷化镓的生长周期N＝1。本发明具有实质性特点和显著进步，可以通过分子束外延生长制备，具有很好的样品质量，可以应用到远红外波段，而且大大提供探测器的量子效率。
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