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公开(公告)号:CN100401041C
公开(公告)日:2008-07-09
申请号:CN200510026598.2
申请日:2005-06-09
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种用于精密分析与测量仪器领域的基于自由空间耦合的光波导吸收式气体传感器及测量系统。传感器包括:上层金属膜、上层光学玻璃片、气室、下层金属膜、下层光学玻璃片、垫块、平台、螺旋测微计。测量系统包括:光波导吸收式气体传感器、激发光源部分与光信号探测与处理部分,激发光源部分以及光信号探测与处理部分固定于光波导吸收式气体传感器的同侧,并保证各部分中心高度相等,金属膜沉积在玻璃片上,玻璃片依次放在平台上并用螺旋测微计通过垫块抵紧。激光源通过光学小孔和透镜后以一定会聚角射入传感器形成导波,用光电二极管阵列探测出射光强度变化情况以感知气室中气体成份的变化。本发明结构简单,成本低,灵敏度高,易于集成。
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公开(公告)号:CN1256576C
公开(公告)日:2006-05-17
申请号:CN200310122788.5
申请日:2003-12-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微小角位移的光波导测量装置及方法。属于精密仪器和精密测量领域。本发明机械振子结构固定在光学旋转平台上,光电接受部分的激光器、偏振器、光学小孔固定在旋转平台外,它们保持等高共轴,光轴指向机械振子结构的中心,光电接受部分的光电探测器、激光器关于机械振子结构的中心轴对称,光电探测器固定在光学旋转平台上。方法如下:激光器发射激光入射到光学玻璃板,当满足耦合条件后,光进入机械振子结构的双面金属包覆波导中,利用反射光随空气层厚度的改变而变化极为敏感的特性,从光学玻璃板底面反射的光强随着光学玻璃板与摆锤的间距改变而变化,通过检测反射光强度的变化量,来测量摆锤相对光学玻璃板位置的改变,得到摆捶的角位移。
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公开(公告)号:CN1696662A
公开(公告)日:2005-11-16
申请号:CN200510026598.2
申请日:2005-06-09
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种用于精密分析与测量仪器领域的基于自由空间耦合的光波导吸收式气体传感器及测量系统。传感器包括:上层金属膜、上层光学玻璃片、气室、下层金属膜、下层光学玻璃片、垫块、平台、螺旋测微计。测量系统包括:光波导吸收式气体传感器、激发光源部分与光信号探测与处理部分,激发光源部分以及光信号探测与处理部分固定于光波导吸收式气体传感器的同侧,并保证各部分中心高度相等,金属膜沉积在玻璃片上,玻璃片依次放在平台上并用螺旋测微计通过垫块抵紧。激光源通过光学小孔和透镜后以一定会聚角射入传感器形成导波,用光电二极管阵列探测出射光强度变化情况以感知气室中气体成分的变化。本发明结构简单,成本低,灵敏度高,易于集成。
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公开(公告)号:CN100360903C
公开(公告)日:2008-01-09
申请号:CN200510030762.7
申请日:2005-10-27
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种测量技术领域的液体、气体样本的温度、吸收、浓度、组分和折射率变化测量方法,利用激光束聚焦入射到上层金属膜-样品腔-下层金属膜的波导结构中,部分光信号被波导结构吸收,于是导致反射光斑中出现明暗相间的条纹;进而利用这些条纹对于置于样品腔中的待测液体、气体样本的温度、吸收、浓度、组分和折射率变化非常敏感的特性,通过对光斑明暗条纹的检测而实现对于液体、气体样本的温度、吸收、浓度、组分和折射率变化高灵敏度和实时测量。本发明具有实质性特点和显著进步,可以广泛应用于多种液体、气体的温度、吸收、浓度、组分和折射率变化的高灵敏度、低消耗量、快速实时测量,尤其是生化反应中的实时浓度和反应过程检测。
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公开(公告)号:CN1758049A
公开(公告)日:2006-04-12
申请号:CN200510030764.6
申请日:2005-10-27
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种测量技术领域的测量气液体温度、吸收、浓度、组分和折射率变化的装置,上层衬底位于顶部,上层金属膜附着在其下表面上;上层金属膜之下紧贴着环形垫圈,环形垫圈之下紧贴着下层金属膜,下层金属膜附着在下层衬底上;上层衬底、上层金属膜组成的结合体与下层衬底、下层金属膜组成的结合体及两者之间的环形垫圈组成三层夹心结构,环形垫圈内部被上层金属膜和下层金属膜封闭的部分即为样品腔;上层金属膜、样品腔中的待测样本和下层金属膜组成波导结构,激光器输出的激光束入射到上述波导结构中,待测样本由导入导管导入样品腔,由导出导管导出样品腔。本发明灵敏度高、消耗量低、实时测量,尤其是生化反应中的实时浓度和反应过程检测。
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公开(公告)号:CN1292245C
公开(公告)日:2006-12-27
申请号:CN200410025387.2
申请日:2004-06-24
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种用于精密分析与测量仪器领域的基于自由空间耦合的光波导生化传感器及测量系统,光波导生化传感器固定在光学旋转平台上,光学旋转平台支撑整个光波导生化传感器,光波导生化传感器固定在光学旋转平台的上转盘的中心,光波导生化传感器包括:上层金属膜、上层光学玻璃片、溶液腔、下层光学玻璃片、下层金属膜、垫块、平台、螺旋测微计。上层金属膜沉积在上层光学玻璃片上,下层金属膜沉积在下层光学玻璃片上,上层光学玻璃片的金属膜面向上,下层光学玻璃片的金属膜向下,上层光学玻璃片、溶液腔、下层玻璃片依次叠放,并放在平台上,用垫块抵住,通过旋动螺旋测微计将整个结构抵紧。本发明结构简单,灵敏度高,成本低,易于加工制造。
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公开(公告)号:CN1278124C
公开(公告)日:2006-10-04
申请号:CN200410052606.6
申请日:2004-07-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 一种用于精密仪器和精密测量领域的平面光波导的微重力加速度传感器及测量方法,传感器中的探测质量块通过悬臂梁同外框架固定,外层金属膜沉积在光学玻璃板上,光学玻璃板通过螺丝固定在外框架侧面,内层金属膜沉积在探测质量块上,外层金属膜背向内层金属膜,并且中间保持有空气隙。测量方法为:将激光器发射的激光入射到光学玻璃板上的外层金属膜,当满足耦合条件后,光耦合进入由外层金属膜、光学玻璃板、空气隙、内层金属膜构成的光波导结构中,从外层金属膜与空气分界面上反射的光强随着探测质量块与外层金属膜的间距改变而变化,通过检测反射光强度的变化量,来测量探测质量块相对光学玻璃板位置的改变,从而实时测得加速度的大小。
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公开(公告)号:CN1758027A
公开(公告)日:2006-04-12
申请号:CN200510030762.7
申请日:2005-10-27
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种测量技术领域的液体、气体样本的温度、吸收、浓度、组分和折射率变化测量方法,利用激光束聚焦入射到上层金属膜-样品腔-下层金属膜的波导结构中,部分光信号被波导结构吸收,于是导致反射光斑中出现明暗相间的条纹;进而利用这些条纹对于置于样品腔中的待测液体、气体样本的温度、吸收、浓度、组分和折射率变化非常敏感的特性,通过对光斑明暗条纹的检测而实现对于液体、气体样本的温度、吸收、浓度、组分和折射率变化高灵敏度和实时测量。本发明具有实质性特点和显著进步,可以广泛应用于多种液体、气体的温度、吸收、浓度、组分和折射率变化的高灵敏度、低消耗量、快速实时测量,尤其是生化反应中的实时浓度和反应过程检测。
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公开(公告)号:CN1588094A
公开(公告)日:2005-03-02
申请号:CN200410052606.6
申请日:2004-07-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 一种用于精密仪器和精密测量领域的平面光波导的微重力加速度传感器及测量方法,传感器中的探测质量块通过悬臂梁同外框架固定,外层金属膜沉积在光学玻璃板上,光学玻璃板通过螺丝固定在外框架侧面,内层金属膜沉积在探测质量块上,外层金属膜背向内层金属膜,并且中间保持有空气隙。测量方法为:将激光器发射的激光入射到光学玻璃板上的外层金属膜,当满足耦合条件后,光耦合进入由外层金属膜、光学玻璃板、空气隙、内层金属膜构成的光波导结构中,从外层金属膜与空气分界面上反射的光强随着探测质量块与外层金属膜的间距改变而变化,通过检测反射光强度的变化量,来测量探测质量相对光学玻璃板位置的改变,从而实时测得加速度的大小。
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公开(公告)号:CN1595121A
公开(公告)日:2005-03-16
申请号:CN200410025387.2
申请日:2004-06-24
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种用于精密分析与测量仪器领域的基于自由空间耦合的光波导生化传感器及测量系统,光波导生化传感器固定在光学旋转平台上,光学旋转平台支撑整个光波导生化传感器,光波导生化传感器固定在光学旋转平台的上转盘的中心,光波导生化传感器包括:上层金属膜、上层光学玻璃片、溶液腔、下层光学玻璃片、下层金属膜、垫块、平台、螺旋测微计。上层金属膜沉积在上层光学玻璃片上,下层金属膜沉积在下层光学玻璃片上,上层光学玻璃片的金属膜面向上,下层光学玻璃片的金属膜向下,上层光学玻璃片、溶液腔、下层玻璃片依次叠放,并放在平台上,用垫块抵住,通过旋动螺旋测微计将整个结构抵紧。本发明结构简单,灵敏度高,成本低,易于加工制造。
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