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公开(公告)号：CN111245294B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202010067919.8
申请日：2020-01-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明提供了一种集成制造的非线性级联多自由度振动能量采集器，其中，内圈永磁体质量块设置于内圈可动平台处，内圈可动平台通过内圈非线性弹簧固定在外圈振子内缘；外圈质量块设置于外圈可动平台处，外圈可动平台通过外圈非线性弹簧固定在支撑块内缘。支撑块上开有贯通的通孔。平面线圈设置于支撑块下表面。内圈永磁体质量块上下运动，改变通过平面线圈的磁通大小，从而实现振动能量到电能的转换。本发明通过独立改变内圈振子与外圈振子参数，可以实现两个非线性模态之间间距与单个非线性模态带宽特性的调整，可以显著增加振动能量采集器工作带宽，且器件易于集成化制造。
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公开(公告)号：CN105526854A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201610034095.8
申请日：2016-01-19
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01B7/02
CPC classification number: G01B7/023
Abstract: 本发明提供了一种基于双线圈的微型电涡流传感器，包括：电极、激励线圈、感应线圈、聚酰亚胺、通孔、玻璃基片和连接线，其中：感应线圈位于激励线圈正上方；通孔位于激励线圈和感应线圈的中央，用于分别连接电极与激励线圈、电极与感应线圈；聚酰亚胺用于感应线圈与激励线圈的绝缘和支撑，玻璃基片位于最下方，连接线用于连接通孔与电极。本发明所述传感器利用电涡流检测原理，并结合法拉第电磁感应定律有效地检测与金属物体之间的距离。本发明克服了传统电涡流传感器需要结合信号转换电路才能使用的缺点，简化了检测系统，同时利用微加工工艺进行传感器的加工制造，体积小，功耗低，易于实现批量化集成制造。
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公开(公告)号：CN101399484B
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200810201926.1
申请日：2008-10-30
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02K35/02
Abstract: 本发明公开一种新能源技术领域的定圈式微机械电磁式振动能量采集器，包括：低频拾振台、高频谐振台、垫片和感应线圈，低频拾振台包括：顶盖、上层平面弹簧和起振永磁体和/或软磁体。上层平面弹簧固定在顶盖凹坑的边沿上，上层平面弹簧包括上层中央平台及其周围的上层悬臂梁，起振永磁体和/或软磁体固定在上层中央平台上；高频谐振台包括：边框、下层平面弹簧、谐振永磁体，下层平面弹簧固定在边框上，下层平面弹簧包括下层中央平台及其四周的下层悬臂梁、谐振永磁体固定在下层中央平台上；垫片位于高频谐振台和感应线圈之间；感应线圈绕组固定在绝缘衬底上，在垫片下方固定不动。本发明转换效率高、易于实现批量化集成制造。
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公开(公告)号：CN100566121C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200710037892.2
申请日：2007-03-08
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种定子内嵌式电磁悬浮转子微马达，属于微机电系统技术领域。本发明中，上定子和下定子都设在中间基体上，和中间基体形成固定联结，盒形微转子呈中空的圆形盒子形状，盒形微转子在上定子和下定子的电磁力作用下稳定悬浮在中间基体的外缘，中间基体上分布有八块旋转线圈，它们分成两组四相线圈，当在旋转线圈内通过高频交变电流，相邻线圈的电流相位差90度，这样，在盒形微转子所在空间内形成旋转磁场，盒形微转子在旋转磁场的作用下，产生旋转扭矩，使它高速旋转。本发明采用了盒形微转子和定子内嵌式结构，可增加悬浮微转子的悬浮刚度和侧向稳定刚度，同时中间基体在盒形微转子不工作的时候起到对微转子限位的作用。
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公开(公告)号：CN100541684C
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200510029318.3
申请日：2005-09-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微电子技术领域的基于微机电系统的射频螺线管微电感的制作方法，采用微机电系统技术，对清洗干净的玻璃衬底进行处理，得到双面套刻对准符号，以便曝光时提高对准精度；采用准-LIGA技术和厚光刻胶工艺制备线圈和连接导体的光刻胶模具；采用电镀工艺解决线圈绕线和连接导体；采用聚酰亚胺材料做绝缘层和抛光技术解决衬底的平整性；采用物理方法去除电镀用的导体，避免湿法刻蚀工艺带来的钻蚀现象。本发明解决了螺线管线圈的立体绕线及高深宽比的电镀问题，使得微电感的射频性能大大提高，具有广泛的用途。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100483074C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200610023455.0
申请日：2006-01-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种电磁悬浮静电驱动微转动陀螺，属于微机电系统技术领域。本发明包括：旋转驱动电极、微转子、稳定悬浮线圈外圈、齿形电极、传感电极、基体、稳定悬浮线圈内圈、连接线，稳定悬浮线圈内圈、稳定悬浮线圈外圈、传感电极、旋转驱动电极都设在基体上，和基体形成固定联接，微转子在电磁力作用下悬浮在基体的上方，微转子呈圆环形，圆环内侧均匀分布有齿形电极，旋转驱动电极和齿形电极形成可变电容，稳定悬浮线圈内圈和稳定悬浮线圈外圈通过连接线连接。本发明提出的电磁悬浮静电驱动微转动陀螺中引入了静电旋转驱动结构，通过静电驱动可以显著增大微转子的旋转扭矩和转速，进而提高微陀螺的测量精度，推广微陀螺的应用领域。
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公开(公告)号：CN100477053C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200710037039.0
申请日：2007-02-01
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01H35/14
Abstract: 一种连体蛇形弹簧微型惯性电学开关，属于微机电系统技术领域。本发明包括：质量块电极、多孔梁固定电极、连体蛇形弹簧、绝缘衬底、缓冲层、弹簧支撑座以及梁支撑座；缓冲层位于绝缘衬底上方、质量块电极下方，弹簧支撑座以及梁支撑座固定在绝缘衬底上、位于质量块电极周围，连体蛇形弹簧与质量块电极相连，并被弹簧支撑座悬空，多孔梁固定电极被梁支撑座悬空、位于质量块电极上方、与质量块电极之间有间隙。本发明增进了带有连体蛇形弹簧质量块在外界加速度作用下运动的协调性，对质量块电极的高速反弹起到了很好的缓冲作用，同时也很好地改善了质量块电极与挡板电极间的接触效果。
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公开(公告)号：CN101345466A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200810042168.3
申请日：2008-08-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: H02K35/00
Abstract: 一种新能源技术领域的基于升频转换的动圈式微机械电磁振动能量采集器，包括上层拾振台、垫片和下层拾振台，上层拾振台包括顶盖、上层平面弹簧和永磁体，平面弹簧在顶盖凹坑边沿上，上层平面弹簧包括上层中央平台及其四周的上层悬臂梁，永磁体在上层中央平台上；下层拾振台包括底座、下层平面弹簧、绝缘层、微线圈绕组、软磁衔铁，下层平面弹簧在底座凹坑边沿上，下层平面弹簧包括下层中央平台及其四周的下层悬臂梁，下层中央平台上覆盖绝缘层，微线圈绕组在绝缘层上，软磁衔铁位于微线圈绕组中央和/或下方和/或四周，永磁体和微线圈绕组相对于顶盖和底座上下直线运动和/或倾斜摆动。本发明转换效率高、频率适应性好、易于实现批量化制造。
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公开(公告)号：CN100392354C
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200510027336.8
申请日：2005-06-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统领域的软磁吸悬高速旋转刚体微陀螺，包括：上定子结构层、高磁导率软磁转子、下定子结构层。上定子结构层中，轴向吸悬电磁铁对和轴向吸悬电感检测元件布置在上定子基板的表面的同一圆周上，线圈和带凸极的高磁导材料结构设置在上定子基板的表面上；下定子结构层中，在下定子基板设置径向吸悬电磁铁对，在每个径向吸悬电磁铁对之间设置径向吸悬电感检测元件，径向吸悬电磁铁对和径向吸悬电感检测元件设置在一个圆周上，在此圆周内侧，设置轴向吸悬组件，线圈和带凸极的高磁导材料结构设置在下定子基板的中心区域上，线圈设置在带凸极的高磁导材料结构上。本发明特别适合多层微细加工工艺，具有尺寸小，功耗小，实现容易的特点。
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公开(公告)号：CN100357773C
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200510030975.X
申请日：2005-11-03
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机械光纤定位器，属于微机械和光学技术领域。本发明包括：定位槽和挠性夹，挠性夹设在定位槽的上方。所述的定位槽包括：单晶硅衬底和截面槽，截面槽设在单晶硅衬底上，所述的挠性夹包括：金属基座和挠性片，金属基座和挠性片设在同一平面内，金属基座和挠性片为一体化结构，金属基座和挠性片的底面均与单晶硅衬底的顶面贴合，金属基座设在单晶硅衬底表面上，金属基座与单晶硅衬底之间通过溅射金属时产生的粘附力固定，利用挠性片内部的弹性变形力将光纤固定在定位器中。本发明易于大批量制作，实现光纤与光纤、光纤与有源模块快速、可靠、精确定位。
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