公开(公告)号：CN101266486A

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200810037105.9

申请日：2008-05-08

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 胡洁 ,  詹振飞 ,  王伟明 ,  周飞 ,  彭颖红

IPC: G05B19/418 ,  G06Q20/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: Y02P90/02 ,  Y02P90/26

Abstract: 一种计算机应用技术领域的半导体制造流程辅助决策系统，其中：门户系统模块是用户登陆系统的平台，可以分别调用制造流程管理模块、流程信息建模模块、调用数据应用管理模块；制造流程管理模块负责对各制造过程中的流程运行、返工处理、生产进度、统计报表进行管理，流程运行中收集的信息和运行记录保存到资源库模块中；流程信息建模模块建立或更新各类制造流程模板，编辑好的模板保存到资源库模块；数据应用管理模块对资源库模块中的数据进行管理和维护；资源库模块负责对半导体制造相关信息和数据进行存储。本发明能够有效整合企业原本零散的制造工艺信息，减少试验工作量和试验时间。

公开(公告)号：CN100552582C

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200810037105.9

申请日：2008-05-08

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 胡洁 ,  詹振飞 ,  王伟明 ,  周飞 ,  彭颖红

IPC: G05B19/418 ,  G06Q20/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: Y02P90/02 ,  Y02P90/26

Abstract: 一种计算机应用技术领域的半导体制造流程辅助决策系统，其中：门户系统模块是用户登陆系统的平台，可以分别调用制造流程管理模块、流程信息建模模块、调用数据应用管理模块；制造流程管理模块负责对各制造过程中的流程运行、返工处理、生产进度、统计报表进行管理，流程运行中收集的信息和运行记录保存到资源库模块中；流程信息建模模块建立或更新各类制造流程模板，编辑好的模板保存到资源库模块；数据应用管理模块对资源库模块中的数据进行管理和维护；资源库模块负责对半导体制造相关信息和数据进行存储。本发明能够有效整合企业原本零散的制造工艺信息，减少试验工作量和试验时间。