一种硅表面纳米金字塔绒面的全溶液制备方法

    公开(公告)号:CN106521635A

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201611012727.7

    申请日:2016-11-17

    CPC classification number: Y02E10/50 C30B33/10 C30B29/06 H01L31/02363

    Abstract: 本发明公开了一种硅表面纳米金字塔绒面的全溶液制备方法,第一步,将硅片置于含金属离子和氢氟酸的混合溶液中,使硅片表面沉积一层金属纳米颗粒,得到附有金属纳米颗粒的硅片;第二步,将附有金属纳米颗粒的硅片浸入含有添加剂的碱溶液中,在一定的温度下经过一定的反应时间形成硅纳米金字塔绒面,得到制绒的硅片;第三步,将制绒的硅片浸泡于酸性溶液中,去除表面附着的金属纳米颗粒。本发明的方法将金属颗粒用于萃取硅与碱溶液反应产生的电子,从而改变氢气泡产生位置,使得硅表面能均匀受到腐蚀,从而产生致密的纳米金字塔绒面。其工艺简单、成本低廉而且绒面效果完美,在超薄晶硅电池中具有重要应用。

Patent Agency Ranking