公开(公告)号：CN110308059A

公开(公告)日：2019-10-08

申请号：CN201910625564.7

申请日：2019-07-11

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 徐济进 ,  洪杰 ,  王帅 ,  余春 ,  陈俊梅 ,  陆皓

IPC: G01N3/32

Abstract: 本发明涉及一种焊接过程材料循环硬化行为测试方法，包括以下步骤：1)将试样安装在高温疲劳试验机上，使用环形红外加热炉以一定的加热速度将试样加热到设定温度，并对试样保温；2)采用应变控制，进行多级载荷循环拉压试验；3)绘制循环拉压试验的应力应变曲线图，建立在设定温度下最大拉应力与循环次数的关系，基于最大拉应力变化趋势确定应变硬化特征；4)根据循环拉压试验的循环应力应变曲线，计算相对内应力；5)根据相对内应力与试验温度的关系曲线，取试样材料力学熔点以下温度的相对内应力平均值作为该试样材料随动硬化模型的比例。与现有技术相比，本发明具有定性评价循环硬化特征、定量确定随动硬化模型的比例等优点。

公开(公告)号：CN110216367B

公开(公告)日：2020-12-18

申请号：CN201910630582.4

申请日：2019-07-12

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 徐济进 ,  王帅 ,  洪杰 ,  余春 ,  陆皓 ,  陈俊梅

IPC: B23K20/12 ,  B23K20/24 ,  B23K20/26 ,  B23K103/10

Abstract: 本发明提供了一种提高铝合金回填式搅拌摩擦点焊接头强韧性的方法，属于铝合金焊接技术领域。该方法包括：选取一块铝合金板作为目标铝合金板，在目标铝合金板的搭接区域中心预加工一环形槽或沟槽，并在环形槽或沟槽中加入预设质量的石墨烯，预加工的环形槽的尺寸或沟槽的尺寸与点焊工具相匹配，环形槽的容积或沟槽的容积与石墨烯的体积相匹配；将另一块铝合金板放在目标铝合金板的下方；将目标铝合金板表面的环形槽或沟槽朝向点焊工具，并与点焊工具对齐，然后进行焊接。本方法利用搅拌摩擦加工过程中强烈的塑性流动来使石墨烯获得均匀的分散，从而强化以及韧化接头内部的薄弱区域，从而获得力学性能优异的搅拌摩擦点焊接头。

公开(公告)号：CN117270333A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202311245666.9

申请日：2023-09-25

Applicant: 上海交通大学 ,  上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 蓝科 ,  陈彩莲 ,  王易因 ,  洪杰 ,  李煜芝 ,  程建瑞

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/38 ,  G03F1/44 ,  G03F9/00

Abstract: 本发明提供一种投影物镜畸变测量系统及方法、光刻机。其中，所述方法是按设定路径移动掩模板，并在移动后，利用相邻所述对准标记对应的视场点之间的空间像距离误差得到的多个视场点的畸变值来获取投影物镜畸变值。可见，按设定路径移动掩模板实现了测试视场点的切换；且在对准标记的独特设计下，获取相邻对准标记对应的视场点之间的空间像距离误差，并以此表征视场点的畸变值，以获取精准的畸变值。在测量过程中掩模板始终为热稳定状态，以固定其形变量，避免其因形变量变化而影响畸变值。且掩模板和光照同步移动，避免光照对畸变值的影响，提高畸变值的精准度，实现绝对畸变测量。

公开(公告)号：CN117270333B

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202311245666.9

申请日：2023-09-25

Applicant: 上海交通大学 ,  上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 蓝科 ,  陈彩莲 ,  王易因 ,  洪杰 ,  李煜芝 ,  程建瑞

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/38 ,  G03F1/44 ,  G03F9/00

Abstract: 本发明提供一种投影物镜畸变测量系统及方法、光刻机。其中，所述方法是按设定路径移动掩模板，并在移动后，利用相邻所述对准标记对应的视场点之间的空间像距离误差得到的多个视场点的畸变值来获取投影物镜畸变值。可见，按设定路径移动掩模板实现了测试视场点的切换；且在对准标记的独特设计下，获取相邻对准标记对应的视场点之间的空间像距离误差，并以此表征视场点的畸变值，以获取精准的畸变值。在测量过程中掩模板始终为热稳定状态，以固定其形变量，避免其因形变量变化而影响畸变值。且掩模板和光照同步移动，避免光照对畸变值的影响，提高畸变值的精准度，实现绝对畸变测量。

公开(公告)号：CN110216367A

公开(公告)日：2019-09-10

申请号：CN201910630582.4

申请日：2019-07-12

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 徐济进 ,  王帅 ,  洪杰 ,  余春 ,  陆皓 ,  陈俊梅

IPC: B23K20/12 ,  B23K20/24 ,  B23K20/26 ,  B23K103/10

Abstract: 本发明提供了一种提高铝合金回填式搅拌摩擦点焊接头强韧性的方法，属于铝合金焊接技术领域。该方法包括：选取一块铝合金板作为目标铝合金板，在目标铝合金板的搭接区域中心预加工一环形槽或沟槽，并在环形槽或沟槽中加入预设质量的石墨烯，预加工的环形槽的尺寸或沟槽的尺寸与点焊工具相匹配，环形槽的容积或沟槽的容积与石墨烯的体积相匹配；将另一块铝合金板放在目标铝合金板的下方；将目标铝合金板表面的环形槽或沟槽朝向点焊工具，并与点焊工具对齐，然后进行焊接。本方法利用搅拌摩擦加工过程中强烈的塑性流动来使石墨烯获得均匀的分散，从而强化以及韧化接头内部的薄弱区域，从而获得力学性能优异的搅拌摩擦点焊接头。