公开(公告)号：CN102206826A

公开(公告)日：2011-10-05

申请号：CN201110108010.3

申请日：2011-04-28

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 何国 ,  樊良伟 ,  张敏达 ,  何献忠

IPC: C23F11/16 ,  C25D9/02

Abstract: 一种金属表面处理技术领域的复匹配型铜缓蚀剂的制备及表面处理方法，该复匹配型铜缓蚀剂的组分为：BTA、2-疏基苯并噻唑、混合稀土盐、表面活性剂、柠檬酸、铜络合剂，余量为水。本发明通过在表面处理工艺中结合电化学处理工艺，缩短了铜表面缓蚀膜层形成的时间，提高了表面处理工艺的效率。

公开(公告)号：CN102206826B

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：CN201110108010.3

申请日：2011-04-28

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 何国 ,  樊良伟 ,  张敏达 ,  何献忠

IPC: C23F11/16 ,  C25D9/02

Abstract: 一种金属表面处理技术领域的复匹配型铜缓蚀剂的制备及表面处理方法，该复匹配型铜缓蚀剂的组分为：BTA、2-疏基苯并噻唑、混合稀土盐、表面活性剂、柠檬酸、铜络合剂，余量为水。本发明通过在表面处理工艺中结合电化学处理工艺，缩短了铜表面缓蚀膜层形成的时间，提高了表面处理工艺的效率。