公开(公告)号：CN1442872A

公开(公告)日：2003-09-17

申请号：CN03116461.7

申请日：2003-04-17

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 蔡珣 ,  刘煊杰 ,  李景明 ,  陈秋龙 ,  王振国

IPC: H01J9/02 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0232 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1335 ,  B32B5/00

Abstract: 一种多层纳米透明导电膜及其制备方法属于纳米薄膜材料领域。本发明薄膜是电介质与金属层交替结构，两层电介质中间是金属层，其中电介质层是对称结构，或者非对称结构。本发明方法首先根据多层膜的特征矩阵计算公式、金属连续膜内的电子输运和等离子体共振理论，编制多层膜光电性能的计算机模拟程序，优化设计D/M/D多层膜结构，这包括材质、膜厚、折射率、电导率的选择和匹配等，预测若干种D/M/D多层膜结构；然后用真空蒸镀的方法制备D/M/D多层膜，同时在蒸镀时，用精确的膜厚监测系统来动态记录膜厚，随时取样测量并加以校正。本发明多层膜的光电性能较好，电气性能指标相对ITO/Ag/ITO有了很大的提高，同时，该膜系具有更好选择滤光性能和色彩平衡性。